ダン・タクマ

横浜市港北区新横浜,  神奈川県 
Japan
http://www.dan-net.com
  • 小間番号6829


ようこそ、ダン・タクマの検索にアクセスしていただきありがとうございます。

CORE COMPETENCY

お客様に寄り添い、お客様目線で
現実的な要望にお応えします。

半導体・電子デバイス業界の製造プロセスが求める高度にクリーンな環境の創造と維持を使命とし、

お客様に寄り添い、お客様目線で現実的なアイデアを提案いたします。

半世紀余に亘り蓄積された技術と豊富な実績を基に、お客様と共にソリューションを具現化し、

今欲しい要望にお応えし続けて参ります。


 出展製品

  • 高密度マイクロバブル発生装置
    マイクロバブルを適用した高度洗浄により洗浄効率の向上・環境負荷の低減を志向...

  • ・ 加圧溶解方式による高密度バブルの発生が可能

    ・ 接液部はSUS仕様、メタフリーALLフッ素樹脂仕様どちらも製作可能

    ・ 制御ソフト内蔵により安定した泡の発生が可能

    ・ 産業用洗浄(精密洗浄)から工作機械の冷却水、半導体洗浄まで多用途に使用可能

    ※ デモ試験も可能ですのでお声掛け下さい

  • ケミカルフィルタ―
    空気中の分子汚染物質(AMC)対策として使用されるフィルタ...

  • ・ 酸性ガス、アルカリ性ガス、有機ガス、ドーパントなど、分子レベルのガス除去が可能

    ・ 環境、用途による各種フィルタのラインナップ

    ・ クリーンルーム(FFU、循環系等)およびプロセス装置のAMC対策として多くの実績有り

  • DT Analyzer(AMC モニタリングシステム)
    クリーンルーム内の各種分子汚染をリアルタイムでモニタリング...

  • ・ 自動測定で汚染状況の見える化と管理コスト削減を実現

    ・ 測定成分:H2S,SO2,NOx,NH3,O3,HF等に対応しご要望に合わせてシステムアップが可能

    ・ 汚染トレンドの監視により、製品や周辺機器などの不良原因やケミカルフィルタの交換時期を推定

    ・ 管理コスト、時間、人件費の削減

    ・ 国内/外のデバイスメーカー、材料メーカー(Wafer、マスク)に多数実績有り

  • 磁気シールドチャンバー
    環境磁界変動の影響を受ける電子線描画装置や電子顕微鏡(SEM・TEM)を対象とした 空調付きチャンバーで、磁気減衰が可能...

  • ・ チャンバー寸法:3,000~5,000[mm3]

    ・ 清浄度 :Ciass 1(ISO 14644-1)

    ・ 風量:300~500[m3/min]

    ・ 冷却能力:10,000~12,000[kcal/h] 

    ・ 風速:0.3 [m/s] +/– 20 [%] (0.24 ~ 0.36 [m/s]) ※フィルタ―吹き出し面にて

    ・ 温度制御:SV[℃]±0.02[℃](SV:21.00~23.00[℃])

    ・ 磁場変動 : <= 0.03 [uT]   (Peak-to-Peak、3軸、0~1,000[Hz])

    ・ 静磁場レベル : <= 1 [uT]  (ゼロツーピーク、3軸、0~10[Hz])