・ チャンバー寸法:3,000~5,000[mm3]
・ 清浄度 :Ciass 1(ISO 14644-1)
・ 風量:300~500[m3/min]
・ 冷却能力:10,000~12,000[kcal/h]
・ 風速:0.3 [m/s] +/– 20 [%] (0.24 ~ 0.36 [m/s]) ※フィルタ―吹き出し面にて
・ 温度制御:SV[℃]±0.02[℃](SV:21.00~23.00[℃])
・ 磁場変動 : <= 0.03 [uT] (Peak-to-Peak、3軸、0~1,000[Hz])
・ 静磁場レベル : <= 1 [uT] (ゼロツーピーク、3軸、0~10[Hz])