有機ELディスプレイやペロブスカイト太陽電池の製造装置など、最先端の技術を応用した機器の開発に力を入れています。
■真空メカトロ機器事業
長州産業株式会社は、1980年に設立された、山口県山陽小野田市に本社を構えるエネルギー関連製品のメーカーです。主力製品として、太陽光発電システム、蓄電池、エコキュートなどのエネルギー効率化製品を提供しています。また、今回の展示会に出展する真空メカトロ機器事業は、有機ELディスプレイやペロブスカイト太陽電池の製造装置など、最先端の技術を応用した機器の開発にも力を入れています。
■洗浄再生事業
各種表面処理技術を活かした真空装置部品の洗浄再生処理を展開しています。溶射施工を含め、一連を自社工場で完結できることを強みとして、お客様の課題を解析→評価→検証を繰り返し、改善や解決までをサポートします。
その他、アルマイトやメッキなどの各種表面コーティング、有価貴金属の回収も展開中です。装置メーカーとしての技術・知識を活かし、洗浄再生から部品製作や装置改造までフルサポート体制でお客様の歩留まり向上やコスト低減に貢献しています。
【洗浄再生事業のご紹介】
お客様からお預かりした部品をウェット及びドライプロセスを経て、十分な検査･管理の中洗浄再生を行い、歩留まりの向上･ランニングコスト低減に貢献いたします。
お客様の課題・ご要望に合わせて解析・評価・検証を繰り返し行い、洗浄再生の改善に最適な仕様をご提案します。
【低い基板温度 & 低いプラズマダメージを実現】
ペロブスカイト太陽電池や有機デバイスの透明電極膜(IZO,ITO,AZO)の成膜に最適な長州産業のスパッタ装置 [MTSP ミラートロンスパッタ]は、既存技術の解決策として採用されています。
薄膜分野の多くのメーカーが長州産業のスパッタリング技術の利点を高く評価しています。
世界最高レベルの蒸着源「IHES」「TSC」®を搭載した、有機ELデバイス試作装置です。
高い再現性と安定した蒸着条件で高効率且つ信頼性の高い試作が可能です。デバイスや材料の研究開発に最適です。
蒸着1 室の廉価版からバッチ式・多機能な枚葉式まで、お客様のご要望に応じて設計・製作します。