電子部品の製造で培ったメカトロニクス技術そしてクリーン化技術を融合、発展させた各種高機能ロードポートの展示を行います。
■出展製品のご案内
①ロードポートTAS300 Type
TAS300は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程で使用されるFOUP(Front Opening Unified Pod)を自動的に開閉するための標準ロードポートです。オプションとして、FOUP内を窒素置換するシステム(フロントパージ、ボトムパージ)も搭載可能、これによりFOUP内を低酸素濃度・低湿度環境に維持します。
②高機能ロードポート各種
上記に加え、先端パッケージング向けPLPロードポート等各種高機能ロードポートの展示を行います。
この機会に是非TDKブースにお立ち寄り下さい。