テクメイション

中央区新富, 東京都
Japan
http://www.techmation.co.jp

弊社は半導体に関連するガスおよび流体の制御機器を取り扱う専門技術商社です。

今回の展示会では世界的に実績のある下記3つのメーカーの製品をご紹介いたします。

■TESCOM社圧力調整器

・ワールドワイドな実績に裏付けられた信頼性

・部品の内製化、組み立て工程の自動化による短納期対応

・豊富なシリーズ、オプション品による多様な条件への対応

■Mott社焼結金属製品（フィルター、ディフューザー、流量調整器など）

・1.5nm 9LRV捕獲性能を実現した、小流量から大流量(15000Nm3/h)向けの高捕獲性能フィルター

・独特な焼結技術により低圧損を実現

・豊富な材料対応（ステンレス、ハステロイ、チタン、セラミックス等）

■Precision sensor社各種センサー・スイッチ（圧力スイッチ、圧力モニター、フロースイッチなど）

・国際安全規格取得品ーーISO13849-1/IEC61508, UL991/508, Ple, SIL3

・大手装置メーカー標準採用品多数

・腐食性ガス対応も可能

またこれらのメーカーはカスタマイズが得意で、「お客様の研究テーマや生産現場に則した機器及び問題解決の提案」を積極的に行っております。流体制御に関するご相談はぜひ弊社までお問い合わせください。

TESCOM 64-2600 series

TESCOM 64-2600seriesはフックアップ、ガスキャビネット、VMB/P対応のコンパクトな減圧弁です。流路部分からテフロンのフリクションスリーブを排除し、金属表面粗度はRa0.26μm以下に仕上げられ高純度流体の圧力調整に適しています。... More Info Less Info

＜主な仕様＞

TESCOM 12 series

TESCOM 12seriesはIGS/VCR対応の小型減圧弁です。Ra0.26または0.13μmの表面粗度仕上げ、スプリングレス、スレッドレス構造はパーティクルの発生を極力排除します。超高純度のガスボックス、ガスキャビネットに適しています。... More Info Less Info

＜主な仕様＞

Mott インラインフィルター

半導体製造装置に使用する業界トップクラスの性能を実現したフィルター... More Info Less Info

・Mott社独自の製法により低圧損かつ1.5nm 9LRV捕獲性能を実現
・小流量から大流量(15000Nm3/h)まで対応した製品ラインナップ
・特殊な材質を選択することで多種多様化する次世代プロセスに対応

Mott フローリストリクター、セラミックプラグ

お客様の要求仕様、使用環境に合わせたカスタマイズ流体制御機器... More Info Less Info

・特殊用途向けセラミック焼結
・焼結金属を用いた流量調整器

Precision sensor 圧力センサー、圧力スイッチ、圧力モニター、フロースイッチ

半導体関連装置の運用・安全管理に必須の各種センサー・スイッチ機器... More Info Less Info

・国際安全規格取得品

　ーISO13849-1/IEC61508, UL991/508,
　　Ple, SIL3 SEMI S-2

・大手装置メーカー標準採用品多数

・腐食性ガス対応微差圧モニター

・新製品
　ー微差圧モニター（エコライン）２５Pa対応、
　　LPSモデル：正負差圧対応品

　ー圧力センサー、圧力スイッチ、表示一体型モデル：Staset小型化,
　　高温200度C対応

　ーPitot Tube+差圧モニター：排気ラインのガス流速/微差圧をモニター