周波数：2.45GHz±50MHz
周波数精度：±0.01%
電源入力：200V3相
最大入力電流：25A
定格出力：1800W
可変出力範囲：100～1800W
出力精度：100～1800W
許容反射電力：1800W
パルス周波数：外部パルス入力 50Hz～3000Hz
パルスDuty：外部パルス入力 5～90%
MW出力パルス精度：パルス周波数±5Hz/パルス幅±1μsec
出力安定時間：1sec
出力電力モニタ精度：100W～200W ±6W / 200W～1800W ±3%
反射電力モニタ精度：100W～200W ±6W / 200W～1800W ±3%
パルス周波数モニタ：0～3000Hz 精度-5～5Hz / 分解能1Hz
パルスDutyモニタ：0～90% 精度-1～1% / 分解能1Hz
アラーム機能、インターロック昨日
冷却方式：水冷
モニタ：出力電力、反射電力