半導体製造プロセスにおけるパーティクル計測課題に豊富な製品力で対応いたします。
最先端の半導体製造プロセスでは、微細化の進歩とともに「シングルナノ」がキーワードとなっています。
パーティクルによるコンタミもシングルナノレベルでの管理が求められるため、デバイスメーカーやファウンドリはもちろん、半導体製造装置メーカー、洗浄液・プロセスガスやそれら供給システムを構成する各種部品メーカーも、より高いレベルでのコンタミ低減に注力しています。
当社が有する計測装置群は、シングルナノパーティクル計測課題への有力なソリューションとしてご利用頂けます。
本展示ブースでは、液中ナノ粒子計測や製造装置のコンタミ評価に適した、シングルナノパーティクルの粒径・個数計測・分級捕集が可能な計測器や、模擬的にナノ粒子の発生が可能な卓上利用可能な金属ナノ粒子生成装置を展示します。
その他、卓上型金属ナノ粒子生成装置を組み合わせた、グリーン水素用CCMs、ガスセンサー、電気触媒などの製造に利用可能な、ナノ構造の多孔質層を自動で成膜する『ナノ粒子プリンター』を展示いたします。
パーティクル計測に関するご相談などございましたら、お気軽にご来訪・お問合せください。
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計測装置
シングルナノサイズ対応ナノ粒径測定 SMPS3938シリーズ
DMAとCPCの自由選択で構成される走査式ナノ粒子粒径分布計測器
- 微分型電気移動度法(DMA法)を用いた高粒径分解能計測。
- シングルナノ粒径の計測に対応 (1.1 ～ 1000 nm)。
- 任意粒径パーティクルの抽出が可能。
- 噴霧乾燥法と組合せて湿式計測に適用可能。計測対象はCMPスラリ、IPA、過酸化水素水、超純水など。
商品紹介URL：走査式モビリティーパーティクルサイザー_TSI_SMPS 3938シリーズ |東京ダイレック株式会社 (t-dylec.net)
サンプラー
スポットサンプラー 110Aシリーズ