東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー

大津市,  滋賀県 
Japan
https://www.toray-eng.co.jp/tasmit/
  • 小間番号5507


ウェーハ外観検査、貼り合わせウェーハ測定でお困りの場合、是非、弊社へお立ち寄り頂き、ご相談下さい。(ブース番号5507)

パワーデバイス、高周波フィルター、イメージセンサ、アナログIC、化合物半導体、LED、パネルレベルパッケージ、ガラスインターポーザー、ガラスコア、チップレットなど、様々なデバイスに適応が可能な検査装置・測定装置をラインナップしております。本展示会では、主力製品であるウェーハ外観検査装置 INSPECTRAを中心に、可視光の領域に限らず、赤外光や紫外光の領域でもご活用頂ける検査装置・測定装置、検査ソリューションをご紹介し、御社の検査ニーズに合う最適なソリューションを提案致します。

是非弊社ブース(ブース番号5507)にお立ち寄りください!


 出展製品

  • ウェーハ外観検査装置 インスペクトラシリーズ
    業界最速、シェアNo.1のウェーハ外観検査装置...

  • 多種多様なデバイスへ、高倍から低倍まで広いレンジで外観検査をカバーします。光学系は明視野、暗視野以外にも多彩でユニークなシステムを搭載可能で、キラー欠陥の検出に貢献します。レシピ作成も容易で、AIを活用した分類機能や工程間解析システムなどでダウンタイムの短縮にも貢献します。
  • 重ね合わせ測定装置 OM-7000H
    貼り合わたウェーハのアライメント、表裏パターンのズレを超高精度に測定します。...

  • 赤外光を用い、貼り合わせウェーハのアライメントズレやウェーハ表裏のパターンズレを超高精度に測定可能です。用途は、CIS、パワーデバイス、MEMS、などの実績があり、研究開発から量産サイトまで広くご活用頂いております。WoWに限らず、CoWでも各チップでの多点測定が可能で、ハイブリッドボンディング、Chipletなどでもご活用頂けます。ウェーハサイズは、最大12インチまで対応可能です。
  • ウェーハ外観検査装置 インスペクトラ PLシリーズ(LED)
    LEDの輝度検査、波長測定、外観検査を1台で検査可能なモデルです。...

  • MiniLED、MicroLEDに対し、受け入れ検査からパターン検査まで広い工程を1台でカバーする検査装置です。検査は、点灯検査、波長測定をPL検査で実施。パターン検査は可視光で検査します。多岐に渡る工程検査をサポートする機能として、工程間解析システムもご提案が可能です。

    開発から量産まで、広い用途での実績があり、ワールドワイドに展開しているLED検査装置です。