日本高周波

横浜市緑区中山, 神奈川県
Japan
https://www.nikoha.co.jp

小間番号4315

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出展製品

半導体製造装置に使用する2450MHzマイクロ波発振装置を展示します。 NIKOHA ブースへのご来訪をお待ちしています。

日本高周波株式会社は、マイクロ波技術により半導体産業を支えてまいります。

＜展示品＞
　マイクロ波自動整合器　～3E TUNER～
　ソリッドステート型マイクロ波発振装置
　マグネトロン型マイクロ波発振装置
　インピーダンスモニタ

展示品以外にもお客様のご使用装置に合わせたカスタム対応も可能です。
当社の説明員までご相談ください。

出展製品

2450MHz マイクロ波自動整合器＜3E TUNER＞

半導体製造装置や熱処理装置のマイクロ波伝送に使用する自動整合器です。プラズマチャンバやターゲットの負荷変動に対して、高速でインピーダンスマッチングを行い、反射波を低減させて装置の効率向上に貢献します。５ｋＷ入力まで自然空冷でご使用いただけます。マイクロ波発振装置、アイソレータ、方向性結合器、導波管とセットでご使用ください。... More Info Less Info

・5kWまで自然空冷で使用可能

・2400MHz～2500MHzの広帯域で使用可能

・小型化(全長L=200mm)、軽量化(4kg)を実現

・部品見直しによる長寿命化

・当社独自のアルゴリズムにより高速動作が可能

・VSWR10（全位相）までの広範囲で整合可能

・低出力にも応答可能

・制御ユニットを内蔵

・ＰＣや別売りのＣＯＮＴＲＯＬＬＥＲによる操作も可能

・ＰＣ専用ソフトを付属

・パルス動作、アナログ電圧による各種設定、各種通信仕様をオプション対応で可能

2450MHz ソリッドステート型マイクロ波発振装置　1kW

半導体製造装置のプラズマ発生源、熱処理装置の加熱源に使用する半導体式のマイクロ波発振装置です。発振周波数と出力電力が安定しているため、装置の安定性と信頼性に貢献いたします。アイソレータ、方向性結合器、自動整合器、導波管とセットでご使用ください。... More Info Less Info

・小型、軽量化を実現【アンプユニットはマグネトロン発振器と同等サイズ】

・マグネトロンに比べ、発振周波数、発振波形、出力電力が安定

・マグネトロンでは難しい低出力が可能

・パルス発振は内部発振でも外部入力からでも対応可能

・発振周波数を可変して細かな制御が可能

・位相制御、アナログ電圧による各種設定、各種通信仕様はオプションで対応

2450MHz ソリッドステート型マイクロ波発振装置　3kW

・小型、軽量化を実現【アンプユニットはマグネトロン発振器と同等サイズ】

・マグネトロンに比べ、発振周波数、発振波形、出力電力が安定

・マグネトロンでは難しい低出力が可能

・パルス発振は内部発振でも外部入力からでも対応可能

・発振周波数を可変して細かな制御が可能

・位相制御、アナログ電圧による各種設定、各種通信仕様はオプションで対応

2450MHz インピーダンスモニタ

マイクロ波伝送路の方向性結合器（進行波Pf・反射波Pr）から検出した信号を入力することで Γx とΓy を算出し、DC±1V を出力します。これにより位相情報を含んだインピーダンスを確認できるため、プラズマ負荷等の変化をリアルタイムでモニタリングできます。... More Info Less Info

・お手持ちの方向性結合器と接続してご使用が可能

・オシロスコープや電圧測定器へトレンド表示

・装置の条件出し評価に最適

・装置の異常時に状態分析が可能

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