パナソニック コネクト

  • 小間番号3334


プラズマダイシングをはじめ、最新のプロセス技術をご紹介いたします。 複数のサンプルも展示しています。是非、ご来場ください。

・プラズマダイシング装置、ドライエッチング装置、プラズマクリーナー、デバイスボンダー、スパッタ装置、3次元測定器、SMT実装、を展示。前/後工程における最新デバイスものづくりに貢献する技術、高コストパフォーマンスの装置をご紹介します。

・最新のデバイス(パワーデバイス、MEMS、通信デバイス、LED等)に用いる独自技術やノウハウ、豊富なアプリケーション実績、ウェハーレベル・パッケージング技術に関して、ご説明いたします。

・パナソニックブースまで、是非、ご来場ください。


 出展製品

  • APX-300S
    化合物/不揮発性材料加工に特化したドライエッチング装置で、Φ2”~8“ウェハ及び異形基板対応可能です。搬送方式は2種類を選択することができます。(大気搬送・真空ロードロック)...

  • ・2種類のプラズマ源により、高速加工・高精度加工に対応可能
     化合物材料の高速深堀加工(基板貫通等)、加工膜厚制御を実現
    ・アッシャー室・リンス室の追加により、残渣・腐食の無いメタル加工を実現
    ・in-situの天板付着物除去機能で、不揮発性材料の安定加工が可能
  • APX300-DM
    プラズマによる化学反応プロセスを用いた加工であり、既存のブレードによるメカニカルなダスト・デブリ・振動・水圧が無く、クリーンな加工をご提案します...

  • ・シングルチャンバー構成で研究開発から量産まで幅広く対応可能
    ・同一チャンバーで異なる材質の連続加工が可能(Si+絶縁膜※ )
    ・200㎜リング付きウエハ/300㎜リングフレーム付きウエハに対応
  • PSX307A
    PSX307Aは自動搬送付き基板用平行平板型プラズマクリーナー...

  • ローダー・アンローダー付きとインライン仕様を選択でき、ウエハ仕様は最大φ300 mmウエハ(リング付き/無し)に対応、基板仕様は幅77.5 mmの基板が4枚同時に処理可能です。
    ・面内均一性とエッチングレートを両立したチャンバー構成
    ・独自の昇降ユニットにより、反りのある薄い基板や裏面に部品がある基板にも対応可能
    ・当社独自のプラズマモニター機能により異常放電を回避し、ダメージレス処理を実現
    ・オンライン化によるトレーサビリティ確保
  • NPM-GH
    幅広い部品/基板対応力を持つモジュラーマウンター...

  • ・基本構成ユニットの一新により高速・高精度実装を実現
     架台・装着ヘッド・認識カメラを一新
    ・デバイスモノづくりに対応した多様な供給形態
     従来のテープ供給・トレイ供給に加えウエハー供給に対応予定
  • UA3P
    『測定できないモノは作れない』UA3Pは、さまざまな微細形状測定でナノ精度モノづくりをサポート。...

  • スマートフォン・DSC・DVDやBlu-rayなどのデジタル家電、ホームセキュリティー、光通信、車載用HUDなどに欠かせない非球面レンズや自由曲面ミラー及びその金型を、最高0.01 μmの精度で測定を実現。簡単操作で加工へのフィードバックもスピーディーに対応します。