当社は創立55年を迎える装置メーカーです。長年培った経験と実績を活かし最高のクリーン技術を提供致します。
●洗浄装置（キャリア洗浄）
・FOUP/FOSB自動洗浄システム
・EUVポッド洗浄システム
・PLP FOUP洗浄システム
●非接触式超音波ドライクリーナー（除塵システム）
・ウェハ用クリーナー
・二次電池用クリーナー
・LCD/OLED用クリーナー
●静電気対策製品（除電システム）
・充電式エコイオナイザー
・クリーンルーム用イオナイザ
●組立装置
・ウェハーテープ貼り付け装置
・ウェハー拡張装置
・ダイシングテープ
・ダイマークインク
出展製品