ヒューテック

高松市,  香川県 
Japan
https://www.futec.co.jp/

• 小間番号1922

ようこそヒューテックの展示ブースへ。 膜厚計測にご興味・ご関心がございましたら、是非、製品情報をご覧になってください。

◆ 全面膜厚測定ユニット

ウェハ全面の膜厚をIn-situで高速測定できる装置です。ユニットタイプで成膜装置などに取り付けてインラインでウェハ全数を測定可能です。300,000point/secの膜厚測定結果から成膜条件や装置の異常を素早く確認することができます。

・ラインスキャンカメラとLED光源を使用した測定システム
・ユニットタイプなので既存の装置(EFEM等)に組み込むことが可能
・カメラ下をウェハが一度通過するだけで全面の膜厚を測定
・可動部がないためパーティクル落下などのリスクを低減

<主な特徴>
【全面測定】
　　- ウェハ全面の膜厚分布傾向を管理可能
　　- 定点監視では難しいスポット状の膜厚異常を見つけることが可能
【高速測定】
　　- 12inchウェハの場合、300,000point/secで測定可能
　　- 装置内でウェハをロボット搬送中に測定
【フィードバック機能】
　　- 測定結果をヒートマップとグラフでモニター表示
　　- 膜厚測定値を座標データとセットでアウトプット

【カスタマイズ対応】
　　- AIを使用した異常分類
　　- お客様の仕様に合わせたアウトプットや通信仕様への対応

◆オフライン膜厚測定装置

研究開発や試作時の膜厚測定向けのオフラインの膜厚測定装置です。面分解能が高く成膜工程における微小な不良や成膜条件による膜厚分布傾向を捉えることができます。ウエハの搬送機構との一体型で、ウェハを置くだけで全面を測定します。
また同一装置をインラインに展開して、ウェハ全数全面のIn-situ測定を実現可能です。量産ラインの垂直立ち上げに貢献します。

・高い面内分解能で正確に膜厚分布を測定

・ウエハを自動搬送し全面を測定。膜厚異常部のみをピックアップ

・300,000 points/secの高速測定

・同一の装置をインラインにも展開しプロセスモニタリングが可能

・任意ポイントを高速にシーケンシャル測定可能

・測定結果をデータベース化して保存/読み出しが可能

・ユーザビリティの高いソフトウェア

 出展製品