本装置は色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、最大 6,000 ライン/秒の測定速度で、
最大 100 万ポイント/秒（ＨＳタイプ）を超える測定が可能です。
段差、異物、キズ、突起、膜厚などを大面積で短時間高精度検査測定する事が可能になります。測定ワークも選ばず鏡面でも透明体でも測定可能です、センサーの入射光と検出光は同じ経路をたどるためシャドーイングを無視出来るので複雑な形状でも正確に測定できます。卓上機から、全自動型インラインにも容易に対応致します。設置面積が小さい角度付きセンサーバージョンも選べます。