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私達株式会社ジェイ・イー・ティは、半導体洗浄装置の開発、製造、販売、アフターフォローを行っている半導体製造装置メーカーです。
これまでは、バッチ式洗浄装置を、主に製造・販売しておりましたが、今回は、ジェイ・イー・ティ独自のヒーター技術を使った、硫酸&過水を使用せずにレジスト剥離できる枚葉式装置を、紹介します。
EcO3は、Wafer表面IR Heaterで加熱しながらO3ガスを噴霧する事で硫酸と過水を、使用しないでレジスト剥離を、行うことが、可能！！
◎顧客要求に応えるフレキシブルな構成（処理槽の構成、数量の変更に対応）
◎ウエハ間ピッチ7㎜処理の実現
◎Moving/Single Lifter採用
2025年Releaseに向けて開発中の新型バッチ式洗浄装置。ONB及びLifter搭載～Comming Soon～