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ジェイ・イー・ティ

浅口郡,  岡山県 
Japan
http://www.globaljet.jp/
  • 小間番号4136

~HTS Series:EcO3~ Commitment to   Eco-Friendliness”

私達株式会社ジェイ・イー・ティは、半導体洗浄装置の開発、製造、販売、アフターフォローを行っている半導体製造装置メーカーです。

これまでは、バッチ式洗浄装置を、主に製造・販売しておりましたが、今回は、ジェイ・イー・ティ独自のヒーター技術を使った、硫酸&過水を使用せずにレジスト剥離できる枚葉式装置を、紹介します。


 プレスリリース

  • 2009年株式会社ジェイ・イー・ティ発足以来、初めて2024年 12月11日 (水) - 13日 (金) 10:00-17:00 東京ビッグサイトで3日間開催される「SEMICON JAPAN2024」に出展いたします。

     ご興味のある方は、会期中に当社の展示ブースにお立ち寄り頂き、主要製品とその技術についてご紹介しますので、ご覧になって頂けますと幸いです。

    (当社グループ展示ブース:東ホール NO. 4136)

     出展展示会 URL: https://www.semiconjapan.org/jp


 出展製品

  • HTS-300 Series EcO3
    O3ガスを利用した硫酸+過水を使用しないレジスト剥離装置...

  • EcO3は、Wafer表面IR Heaterで加熱しながらO3ガスを噴霧する事で硫酸と過水を、使用しないでレジスト剥離を、行うことが、可能!!

  • BW3700
    300mm用バッチ式洗浄装置...

  • ◎顧客要求に応えるフレキシブルな構成(処理槽の構成、数量の変更に対応)

    ◎ウエハ間ピッチ7㎜処理の実現

    ◎Moving/Single Lifter採用

  • BW3500
    ONB及びLifterを搭載した新型バッチ式洗浄装置...

  • 2025年Releaseに向けて開発中の新型バッチ式洗浄装置。ONB及びLifter搭載~Comming Soon~