オックスフォード・インストゥルメンツ

品川区,  東京都 
Japan
https://www.oxinst.jp/

• 小間番号E4536

オックスフォード・インストゥルメンツは、次世代半導体製造に欠かせない最先端プラズマエッチング＆デポジション装置および半導体製造を最適化・効率化する特性評価ソリューションを提供しています。

プラズマテクノロジー

SiC・GaN 次世代半導体への期待と需要増が高まる昨今のマーケットに、従来のリモートプラズマより３倍もの高速を実現した超高速プラズマ原子層堆積(Atomic Layer Deposition) 装置であるPlasmaPro ASPを開発。チューニング可能な酸化物/窒化物ゲート絶縁膜のデポジションをコンフォーマルかつ高速に行うことが可能です。原子層エッチングを行うICPエッチング装置PlasmaPro 100とあわせて、AlGaNの高精度膜厚制御を実現します。

原子間力顕微鏡【実機展示】

Jupiter Discovery（ジュピターディスカバリー） は、他のAFMに比べて5～20倍の超高解像度とスキャン速度を実現した大型試料用AFMです。
事前に取り付けられたプローブ、独自のサイドビューカメラ、Autopilot搭載のFFMトポグラフィー画像モードにより、新規ユーザーでもサンプルのロードから結果取得まで数分で完了できます。また、アクセサリーと機能の豊富なラインナップにより多分野に渡る研究が可能となり、構成オプションにより幅広い研究予算に対応可能です。
超高速性能と直感的な操作性の両方をお求めのAFMユーザのみなさま、是非Jupiter  Discoveryの実機をご覧ください。

共焦点ラマン顕微鏡【実機展示】

共焦点ラマン顕微鏡は、Si/SiC/GaNなどの化学情報を非破壊で測定できるだけでなく、応力やドーピング分布などの情報を2次元・3次元で可視化します。これに加え、witec360 Semiconductor Editionでは最大300mmのウェハの全面検査が可能となります。

当社の装置は幅広い用途に使用でき、様々な観察手法が可能で観察結果から多くの試料に対する情報を得ることができます。顕微鏡システムとして可能な組み合わせは、共焦点ラマン顕微鏡、原子間力顕微鏡(AFM)、近接場光学顕微鏡(SNOM)、電子顕微鏡(SEM)があります。共焦点ラマン顕微鏡は化学情報を、AFMは表面形状／構造、硬さ／吸着力などの物理特性を、SNOMは光学回折限界を超える高分解能光学像を得ることができます。すべてのwitec装置はお客様のご要望に応じて機能をアップグレードすることができます。

ナノインデンター

オックスフォード・インストゥルメンツのナノインデンターシリーズは、幅広い試験環境と高精度測定を実現します。iX05は最大30点/秒の超高速マッピング、10桁の荷重レンジ（100pN～2N）、不活性ガスや高真空環境下での試験、－150℃～800℃の温度依存測定に対応。i04は世界初のMEMSベース構造で正確な変位制御を可能にし、最大400℃の高温測定やスクラッチ・トライボロジー試験、AFM測定に対応。NMT04はSEM内でのin-situ ナノインデンターとして、独自MEM技術による広いダイナミックレンジを備え、EBSDやSTEMとの相関試験をシームレスに実施できるコンパクト設計と拡張性を特徴とします。

EDS/EBSD

EDS（エネルギー分散型X 線分析装置）は、SEM, TEM, FIB内の試料の元素分析および化学組成分析を行う手法です。EBSD（電子後方散乱回折）分析法は、微細構造の特性評価のための非常に強力なツールです。当社のEDS/EBSDの特長や事例をブースでご紹介します。

 出展製品