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明治10年から140年以上続く電流導入端子や絶縁パイプなどの真空用気密部品、水冷ヒートシンクの専門メーカーです。
長年培った接合のノウハウを生かし、品質・開発にこだわりを持ちご要望の仕様にお応えする製品作りに励んでいます。標準品も取り揃えておりますがカスタム品の設計・検証を得意としており、装置の仕様に合わせたご提案をいたします。
ブースでは、半導体製造装置などの真空チャンバー内へのプロセスガスを流すための螺旋穴絶縁パイプなど、セラミックと金属をろう付で接合した気密接合製品を展示します。また、電源内のアンプや基板など様々な発熱源を冷却する水冷ヒートシンクをご紹介します。
多くのお客様から高い信頼を頂いているカワソーテクセル製品を是非直接ご覧ください。
ブースにてご来場をお待ちしております。
成膜装置やCVD装置、エッチング装置に用いられます。
チャンバー内部をプラズマ環境にするためのプロセスガス導入に最適です。
アルミナ内部のガス流路の流路径や流路長をご要望に合わせて製作することで
ガス流量の安定化を実現します。
また、流路を螺旋状にすることで省スペース化、流路内での異常放電防止、
チャンバーからのプラズマの逆流防止を実現します。
ブースには内部構造が分かる展示や詳細を説明したムービーも流しております。
・ヒートシンクの材質はアルミ、銅、ステンレスです。
・標準品は多数取り揃えております。
ヒートシンク表面のご希望の位置にどこにでもタップ穴を加工できる「ユニバーサルヒート
シンク」は2週間で納品します。
・冷却性能、用途、サイズ、材質などご要望に合わせたカスタム品の製作を得意としています。
最適なヒートシンクを設計し、ご提案いたします。
・設計段階での熱解析や、実際に製品を製作して冷却性能などを実測する冷却性能試験も承っ
ております。