NanoAir™ 10 は、より厳しい基準で管理される局所クリーン空間、特にウエハ搬送モジュール (EFEM) 内やプロセス装置内の常時モニタリングに最適化された凝縮型気中パーティクルカウンタです。流量2.8 LPMで測定し、粒径10 nmの微粒子を検出します。
NanoAir 10は従来型の扱いやすさを備えた凝縮型パーティクルカウンタです。独自の凝縮制御機構 (特許出願中) により凝縮液は安定した状態に保たれ、24時間/365日フル稼働しても凝縮液の補充は15か月間必要ありません。年次校正の際に補充すれば、モニタリングの中断は最小限にとどまります。また、凝縮の過程で発塵することがないため、高い精度で測定結果が得られます。
ローカル IPアドレスなど装置の設定情報は、取り外し可能なインターフェースユニットに保存されます。そのため、装置の入れ替えが必要なときには、インターフェースユニットを付け替えるだけでモニタリングを再開できます。
多彩な入出力ポートを搭載しており、監視制御システムとの融和性が高く、またアプリケーションに応じて専用のマニホールド ParticleSeeker™を組み合わせたり、加圧ガスの測定を可能にする高圧ディフューザ HPD IIIを組み合わせて使用することができます。