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”次世代ものづくりを支える” インダストリー4.0のベストパートナー
半導体製造装置で活躍するPLP工程対応ナノ精度位置決めステージや、当社製DDモーター搭載のウエハ搬送ロボット、ウエハアライナー、業界最薄クラスのDDモーターの他、ウエハ搬送ロボットとウエハアライナーを組合わせたウエハ ロード・アンロードシステムのデモ機もご覧いただけます。
日本初出展となる、5軸自由度を備えた精密位置決めステージとウエハ搬送ロボット【Mシリーズ】もご覧いただけます。
直動案内機器からモーターやドライバー、コントローラーを自社開発製造する当社ならではの、半導体製造の各工程に貢献するトータルソリューションを提案します。
ぜひ当社ブースへご来場ください。
・低床構造
・位置決め安定性±2nm
・速度リップル±0.1%@100mm/s
・高い幾何学的精度
・機器の状態監視をする「スマートモジュール」搭載可能
・ワンストップサービス
・カスタム対応可能
・高速動作で検査効率を向上
・ナノメートル級の安定性で高精度検査に対応
・一体型の軽量・薄型設計で、装置への導入が容易
・多軸自由度、高さわずか90mmで平面・角度調整に対応