カナメックス

厚木市,  神奈川県 
Japan
http://www.kanamex.co.jp

• 小間番号E5532

当社クリーンルームにて各種デモが可能です。 営業技術担当がデモ内容の打ち合わせから実演、仕様決め迄トータルサポートします。

設計・製造・技術の要

株式会社カナメックスです。

実機出展

・枚葉式有機洗浄装置（新デモ機）

　ウエハ表面を高圧ジェット、加温剥離液、純水２流体で洗浄し

　リンス後、スピン乾燥させます。

　剥離液のリサイクルにより省薬液で低環境負荷の処理が行えます。

　メタルのリフトオフにも使用できます。

　従来方式に比べ、バリやレジスト残渣の除去が可能です。

　メタルの回収も可能です。

・オゾン水ユニット

　有機物除去、表面酸化、金属不純物除去、レジスト残渣除去効果があります。

・脱気水ユニット

　溶存酸素低減、超音波の音圧向上による洗浄効果アップ

・ホーン型超音波（低周波）ユニット

　有機溶剤に対応した超音波ユニットです。

　メタルのリフトオフ等各種剥離処理に使えます。

その他、パネル展示等

・枚葉スピン式自動ＲＣＡ洗浄装置

・枚葉式チップ洗浄装置

・3段チャンバー循環式自動スピンエッチング装置

・両面同時薬液処理対応装置

・Au、Ti、Cuなど各種メタルエッチング装置

・ＣＭＰ・各種研磨後用　スクラブ洗浄装置

・その他フォトリソ関連装置

　（塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄）

・コーターデベロッパー

・□600mm対応スピン洗浄装置

・枚葉式スピン　メタルリフトオフ装置

・エキシマUVユニット

当社クリーンルームにてフォトリソ工程の各種デモが可能です。

営業技術担当がデモ内容の打ち合わせから実演、

仕様決め迄トータルサポートします。

当社ブースへのご来場お待ちしております。

 プレスリリース

• 剥離・洗浄・乾燥を1台に凝縮。高温と高圧の薬液と二流体技術を駆使した次世代の複合処理装置。 (20251027)

  この革新装置は、加温薬液と高圧ジェットの相乗効果による強力な剥離性能に加え、二流体洗浄による精密クリーニング機能を統合しました。有機剥離から最終乾燥までを1チャンバーで完結させることで、省フットプリントと飛躍的な生産効率の向上を実現します。