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Support your Vaccum Process
弊社ブースでは、韓国「Science Probe」社のHV・UHVゲートバルブをはじめ、プロセスチャンバーで使用されるトランスファーバルブ、圧力制御に特化したAPCペンデュラムバルブ、バタフライバルブ、CSバルブ、そして停電・エア供給遮断・ポンプ異常時に瞬時にバルブを閉じるエマージェンシークローズゲートバルブなど、様々な種類のゲートバルブを展示しております。
ブースでは、実際のバルブ製品および動作デモンストレーションをご覧いただけます。
さらに、配管の詰まり防止に特化したホットN₂システムや、真空二重管も展示しております。
価格・納期・安定性、そして豊富な販売実績を誇る八光産業株式会社のブースにぜひお立ち寄りいただき、製品をご覧くださいませ。
何卒よろしくお願い申し上げます。
APC heater inserted Pendulum Valve
➡ステッピングモーター駆動により、真空環境での精密な圧力制御 ➡ 内蔵ヒーターでバルブをベーキングし、温度差による副生成物の発生を防ぐ
エアー駆動式 Pendulum
➡ 「Fail-Closed 」 構造になっており、非作動時には Close を維持
➡ 空気圧や電源の遮断などの緊急時にはゲート即座に Closeし、
半導体プロセスにおける重要な安全装置として使用
Emergency Close Gate Valve
➡ ポンプ異常信号発生時、main 電源遮断時、 Valve 供給エアー圧力 0.5Mpa 以下時に Close
➡ 独自のエアーボンベのエアーを使い Close 状態を維持