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安田工業

浅口郡,  岡山県 
Japan
https://ypos.jp/
  • 小間番号E6307

高精度工作機械メーカーが作る、パネルサイズ対応の高精度XYZθステージを出展!

リニアガイド採用 - 繰返し精度0.1μm以下の高精度&高剛性ステージユニット

自社製Z軸・θ軸搭載 – 全軸に対して綿密なサーボ調整を実施

□600mmテーブル – パネルサイズ対応。高耐荷重・高追従仕様などのカスタマイズが可能

安田工業株式会社は高精度工作機械を祖業とし、"YASDA"ブランドのマシニングセンタは世界中のユーザーに選ばれています。

2000年より半導体製造装置・FPD製造装置向けの受託製造事業をスタート。

組立エリアは1000㎡超の床面積にクラス10000の組み立てクリーンルームも整備しており、大型・特殊な専用装置でも製造可能です。

半世紀以上におよぶ工作機械の設計・製造ノウハウを結集し制作される、リニアガイドの特性を最大限に引き出した高精度・高剛性XYステージは当社ならではの技術です。

半導体製造・検査装置に最適化されたリニアガイドステージは精度・品質・対応力でお客様より高い評価をいただいています。

精密加工の現場で、20年以上稼働し続けるマザーマシンを製造してきたYASDAがつくる、0.1μm以下の繰り返し精度と稼働時の姿勢安定性の両立を可能にする作り込みの技術をぜひご覧ください。

皆様のご来場を心よりお待ちしております。


 出展製品

  • パネルプロセス対応高精度XYZθステージ
    高い繰り返し位置決め精度・速度安定性という基本性能に加え、静止時耐荷重2000Nの両立を目指した半導体製造装置・検査装置向けハイエンドステージ。すべての軸に対して徹底したサーボ調整を施し、速度・精度のバランスを最適化しています。...

  • 【特長】

    ・自社製Z・θ軸を搭載

    回転軸と直線軸の同期制御が最適化済みで組付けにおける調整の手間不要

    ・パネルレベルパッケージ仕様にも対応

    □600mmテーブル搭載、700mm以上のストローク対応、高耐荷重仕様などのカスタマイズ可能

    ・精密ステージの基本性能の追及

    静荷重時における姿勢安定性と、0.1μm以下の繰り返し位置決め精度、1秒台のローリング・ピッチング精度、低ウェービングを全域で実現。

    ・極限まで抑えた機差

    サブミクロン級の精度かつ、個体間の精度のばらつきを極限まで抑えたステージが品質安定に貢献