santec Japan

Si (高ドープ品も可能) /SiC/GaN/サファイア/ガラス/LiNbO3/SOIなど様々な材料の厚さをサブナノメートルの精度で測定します。省スペース設計で卓上サイズに収めた筐体ながら高性能な波長可変光源を利用したヘテロダイン干渉検出技術で、超高速 (30,000点/秒) かつ高密度に厚さ分布を測定します。独自の光学設計と計測アルゴリズムにより0.1 um～1 mmと4桁分の厚さ範囲のSiウェハを単一センサで計測できるほか、プロファイラモードではBow/Warpなどのウェハ形状も評価可能です。直感的な操作の専用ソフトウェアはGBIRやESFQRなど平坦度解析のほか多彩な解析機能を搭載しております。santec独自の特許技術による高い温度安定性で特別な温度制御のほか、振動に強い光学プローブは煩雑な除振設備を必要としません。またセンサ組み込みによるインライン検査のほか、搬送ロボットとの統合で自動化も可能で、研磨・研削加工やウェハ輸送中の形状モニタなど多彩なアプリケーションでご活用いただけます。

金属加工における空間光変調器の期待される効果

1. 加工精度の向上
空間光変調器は、ビームプロファイルを動的に制御することができ、高精度な加工を実現します。細かい構造や複雑な金属部品の製造において、SLM-310は従来の方法では得られない精度を実現し、高品質な部品の一貫した生産を可能にします。

2. 高速加工とビームシェーピングによる効率化
SLM-310は、レーザー照射パターンを瞬時に調整できるため、処理時間を大幅に短縮します。ドーナツ型やリング型のビームを使用することで、速度を向上させつつ、不必要な熱入力を最小限に抑え、結果的に処理効率を改善します。

3. 多点・多領域への同時照射
空間光変調器は、1つのレーザービームを複数のポイントに分割し、それぞれに異なるパターンを同時に適用できます。これにより、複数の領域を一度に処理でき、タクトタイムを短縮し、全体的な生産性を大幅に向上させます。

4. 材料への熱影響の最小化
SLM-310は、レーザーエネルギーの分布を精密に制御することで、必要な箇所にのみ熱を集中させます。このターゲットエネルギー供給により、スパッタを減少させ、品質を向上させるとともに、後処理の必要性を軽減します。また、温度に敏感な材料の品質保持にも寄与します。