可変周波数マイクロ波（VFM）オーブン（LAMBDA Technologies社製）は、『接着剤・樹脂の高速硬化かつ精密接着』を可能とする 特許VFM技術（Variable Frequency Microwave）を搭載した周波数可変型のマイクロ波オーブンです。
通常の電子レンジや工業用マイクロ波加熱装置では、2.45 GHz固定周波数が使用されますが、VFMでは5 ～ 7 GHz帯を高速で スイープ（掃引）して使用します。このVFMオーブンは、庫内全体の均一加熱、金属物の投入、加熱対象物の温度制御（昇温速度制御・一定温度保持）が可能など、従来のマイクロ波加熱の常識を覆す沢山の特長を有しています。 これら特長により、接着剤・樹脂の硬化プロセスで今まで不可能だった処理を可能とし、革新的な硬化プロセスを構築します。装置には、非接触温度計、クローズドループ高精度温度制御機能が標準で用意されており、必要に応じで、簡易的な真空環境下、ガス雰囲気下での処理を行うことも可能です。
半導体ウエハの加熱プロセスに関して、既存の加熱/キュア処理に代わる手法として、シリコンのアニーリングや最先端のパッケージング用途に検討が進んでいます。最大出力1.6kW以上、300mm/12インチウエハにも対応しています。