明電舎

65WデスクトップCPUと10GbE等の高速インタフェースを複数搭載しています。

長期安定運用を想定した設計で、様々なソリューションに適用可能です。

■　業界最小クラスのサイズ　

・　同じCPUを搭載した一般的なタワー型のデスクトップPCと比較すると、体積約85%減少、システムをコンパクトに構成可能

・　拡張スロットなしタイプ：191(W)×227(D)×75(H) ［mm］

・　拡張スロットありタイプ：191(W)×227(D)×85(H) ［mm］

■　最大級のパフォーマンス

・　CPUにIntel第13世代プロセッサ Corei7-13700E※1を搭載

・　メインメモリに、DDR5メモリを最大16GB×2枚まで搭載可能

・　OSはWindows 10 IoT Enterprise LTSC 2021を搭載

・　M.2スロットやPCIeスロットにはオプション品であるHailo-8※2を搭載可能

・　Hailo-8により、画像AI推論を高性能に低消費電力で処理可能

■　コンパクトな筐体に豊富なインタフェースを搭載

・　レガシーI/FであるVGA、RS-232Cを搭載

・　大容量データである画像や動画を高速伝送できる10GbEを2ポート搭載

・　拡張スロットありタイプはPCIeボードを搭載することで拡張性を確保

・　データを高速転送するNVMe接続のストレージとしてCFexpressカード※3とM.2 SSDを搭載可能

■　高信頼性

・　RAS機能を標準搭載

・　CPUチップ温度・筐体ファン停止・メモリECCエラー・電源異常・ドライブの余寿命監視等の9項目の異常検出が可能

・　コントローラのデータ化けや異常終了を防ぐことが可能なECCメモリを採用

※1 Coreは、Intel Corporationの登録商標です。

※2 Hailoは、Hailo-Werk Rudolf Loh GmbHの登録商標です。

※3 CFexpressは、CompactFlash Association の登録商標です。

PVD・CVD・エッチングなどの半導体製造工程では、RF電源とマッチング回路の整合が不可欠です。

真空コンデンサは、ESR（直列等価抵抗）と誘電体損失が極めて小さく、1MHz～数百MHzの高周波でも大電流に対応可能。

真空容器内にコンデンサの電極があるため、外的要因である気圧・温度・湿度・塵埃による電気特性への影響がほとんどなく、優れた温度特性を実現しています。

また、真空絶縁技術により、環境配慮型の高耐電圧コンデンサであり、RoHS指令にも全機種対応しています。

豊富な標準ラインアップに加え、静電容量・耐電圧・取付形状・冷却構造などのカスタム対応も可能です。

お客様の装置仕様や使用環境に応じた最適設計をご提案いたします。試作から量産まで、柔軟に対応いたしますので、お気軽にご相談ください。

ピュアオゾンジェネレータ（POG）は、オゾンを液化・蓄積し、高濃度・高純度のオゾンガスを供給する装置です。高濃度・高純度を特徴を利用して、低温・ダメージレスでの成膜、改質（接合前処理）、洗浄に利用可能です。また、安全性・信頼性に関しても「危険な反応をさせない」という思想のもと、下記の通り安全な装置設計をしています。

■特長

・　非常時のための防爆設計

・　停電、異常時はフェールセーフシステムにより温度／圧力制御

・　停電時の緊急パージ機構

・　オゾン爆発防止のため冷凍機の動作を維持する機能

・　万一、オゾン爆発が生じた場合でも、外部機器への機械的ダメージを発生させない構造

・　規格認証：国際安全規格 SEMI-S2、UL、NFPA、CEなどに準拠（一部装置）

・　品質保証：第三者認証機関によるトレーサガステストにより、ガス漏れに対する安全性を実証

■半導体・液晶分野の特長

・　クリーン対策を行う（低発塵部材、カバー、FFU等

・　搬送物はカセット、FOUP、水槽、パネルなど

・　数mmの停止精度を求められる場合は、アウトリガー位置決めを採用

・　誘導線工事が不要なレーザ誘導を適用

■導入場所

・　半導体前工程ライン（酸化、薄膜、塗布、洗浄他）

　ウエハ生産ラインでＤＳＰ水槽を工程間搬送

　カセットを搬送ロボットが工程間搬送

　ＦＯＵＰを協働ロボットが工程間搬送

　専用パレットを工程間搬送

・　液晶パネル生産ライン 他

　セラミック板を熱処理炉に工程間搬送

　フイルム搬送専用トレイを工程間搬送

　小形液晶パネルカセットを工程間搬送

　液晶カセットを工程間搬送

■　特長

・　半導体製造装置のライフサイクルをエンジニアリング力でサポートします。

・　お客様のご依頼を受けて、経験豊富な技術員が日本国内を中心に、迅速に対応します。

・　装置機齢が高く、部品入手が困難なユニットも、当社の技術力で修理・改造を行い、信頼性向上を図ります。

・　再生装置を『高品質』・『低価格』・『短納期』でご提供します。

■基本サービス

・保守メンテナンスサービス

稼働率の向上、装置の維持・管理を追求し、ご提案します。

＜主なサービス＞

　定期点検・トラブル対応などのフィールドサービス、予防保全、常駐保守、装置解体・移設作業、

付帯設備サービス など

・リペアサービス

長年の経験による信頼のリペア技術をご提供します。

＜取扱品目＞

プリント基板、各種電源ユニット、ＲＦ関連機器、マスフローコントローラ、熱交換器など

・装置再生サービス

実績が証明する優れた技術力をご提供します。

＜取扱品目＞

ＣＶＤ装置、ＰＶＤ装置、露光装置、エッチング装置 など

■特種サービス

・装置信頼性向上サービス

旧型装置・機器類を豊富なメニューで信頼性向上を図ります。

＜特長＞

　部品入手不可等の理由で修理できない機器類については、代替技術を活用

　修理を基本とすることで費用を抑え、代替技術で信頼性を向上

・オンライン通信サービス

製品着工処理をリモート制御により自動化します。

＜特長＞

　お客様の生産管理システムと装置を仲介、コマンド転送によるリモート制御

　ＡＩ異常判定、データ収集など、関連製品との連携

・その他

当社は、オーク製作所の販売代理店として半導体用露光装置を取り扱っております。