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透明ウエハ・基板測定なら、YGKに是非お立ち寄りください!!!
株式会社YGKは、ノンパターンウエハ異物表面検査装置を開発・製造・販売しています。
今回の展示会では、ウエハ表面スクラッチ検出で高い機能を持つウエハ検査装置【XGS】
大学や研究拠点でのウエハ表面パーティクル検査に最適な、ウエハーパーティクル検査装置【Lab Particle Scan】
ガラスパネル検査装置【YPI-Glass Panel】を中心に展示させて頂きます。是非弊社ブースにお立ち寄りください。
パネル展示
ウエハ検査装置 XGS
ウエハ検査装置 XGSは高いスクラッチ検出能力と微細光散乱の分析機能を持ち、可視化が難しかった潜傷の検出やウエハ全面の研磨やCMPの加工水準を可視化できる検査装置です。ウエハ表面パーティクル検査も対応できます。
SiCウエハ表面異物検査装置 YPI-MX DC
SiCウエハ表面を0.12μmから測定可能な、SiC及びシリコンウエハに対応するウエハ表面異物検査装置です。SiC量産プロセスのプロセスモニターや洗浄管理などに最適な装置となっており、4インチから8インチサイズの異物測定が可能です。またマニュアル搬送やSMIF自動搬送にも対応しており、試作から量産まで幅広いご要望にお応えできます。
ダイシングウエハ検査装置 YPI-MX TF
YPI-MX TFはテープフレームに貼られたノンパターンウエハ表面の異物測定が可能な装置で、ダイシング済みウエハや保護テープの糊残渣などの異物管理を目的とした装置です。マニュアル搬送での300mmテープフレーム測定はもちろん、自動搬送にも対応可能な装置となっています。後工程研究開発装置に最適な装置です。
ウエハ表面異物検査装置 YPI-MX
シリコンから透明系化合物ウエハなど幅広い分野に適合可能な、ウエハ表面検査装置です。量産プロセスに最適な自動搬送やFOUP・SMIFなどにも対応可能な装置となっています。小径ウエハから300mmウエハまで、幅広い異物測定ニーズにお応えする装置です。