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住友重機械工業

Osaki, Shinagawa-ku,  Tokyo 
Japan
https://www.shicryogenics.com/
  • 小間番号W2637

当社は一般産業機械から最先端の精密機械、さらに建設機械、船舶、環境・プラント機器までをカバーする総合機械メーカーです。

本展示会ではクライオポンプ、精密位置決めステージ、酸素負イオン照射装置(Reactive Nion©)、MCZ用超電導マグネット、反応性プラズマ成膜装置RPD(Reactive Plasma Deposition)を出展します。


 出展製品

  • クライオポンプSICERA®および真空ロボット
    クライオポンプSICERA®および真空ロボットの展示...

  •  省エネに特化したクライオポンプ(実機展示)および真空ロボット(パネル展示)を行っておりますので、是非当社ブースへお越しください。
  • CA/CSシリーズ
    独自技術で真空条件下でもナノレベルの位置決めを提供致します。...

  • 独自技術により真空環境下で使用できるエア駆動ステージです。エア駆動のため、真空チャンバ―内での発熱がなく、主要部品がセラミックスのため電子線を使用する装置に最適です。
  • SA-GⅡシリーズ
    次世代の半導体製造に必要なナノレベルの位置決めを実現します。...

  • 当社独自の反力処理ユニットにより、高加減速移動時にステージの振動を最小限に抑え、高い位置決め精度と整定待ち時間の短縮を実現します。また、オプション搭載部品を使用すれば、お客様独自の用途に合わせてZΘTiltも一括設計・製造する等、カスタマイズも可能です。
  • MCZ用超電導マグネット
    シリコン単結晶引き上げ装置に高磁場源として適用される住友重機械工業の超電導マグネットは、液体ヘリウムを使用せずに自社製の冷凍機のみで冷却する安全で信頼性の高い装置です。 ...

  • 良質なシリコン単結晶引き上げには、磁場制動による熱対流防止が必要です。住友重機械工業のMCZ用超電導マグネットは、磁場を印加し熱対流による坩堝の損傷、坩堝からの酸素混入、欠陥を防ぎます。

  • 反応性酸素負イオン照射装置(Reactive Nion)
    Reactive Nionは低圧アークプラズマで生成した高密度な酸素負イオンにエネルギーを付与して照射する装置です。​従来の酸化処理に比べ、高品質な酸化を低温で実現します。 ...

  • 住友重機械工業独自のプラズマ制御技術により、安定したアークプラズマの ON/OFF を行うことで、効率的な O⁻ 生成および対象物の酸化を実現します。