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日本カノマックス

吹田市,  大阪府 
Japan
https://www.kanomax.co.jp
  • 小間番号W2635

最先端の半導体製造の品質管理に貢献する精密計測器を、日本カノマックス株式会社がカノマックスアナリティカル株式会社と共同出展致します。

カノマックスグループは、”独創と革新”を企業理念として、6つの事業で、究極の精密計測ソリューションをグローバルに展開しています。

皆様のご来場を心よりお待ち申し上げております。

 出展製品

  • 多点式アネモマスターPRO　Model 1590
    当社が得意とする微風速領域を含む全風速領域の精度や応答性は業界最高水準です。 最大144ch で大規模空間の多点同時計測を、業界最小レベルのミニチュアプローブや高い耐熱性、温湿度計測で実現しています。 本体の高い可搬性、インターフェースの充実により、多点同時計測をより短時間に、より簡便に、使いやすさを追及しました。...

    • ● 15種類の互換プローブで多様な 計測ニーズに対応
    ● 業界最小クラスのプローブは狭小空間でも設置が容易
    ● 高い耐熱性による過酷な環境でも精密な計測が可能
    ● 最大144chの大規模システム構築が可能
    ● インターフェースの充実で大規模空間の計測も容易
    ● 本体の可搬性が高く車載等の使用も容易
    ● プローブの応答性や精度が向上、風速の下限値は0.01m/sに対応
  • パーティクルカウンター　Model 3950
    圧倒的な小型化と軽量化を実現！ 付属ソフトでポータブルにモニタリングが可能！ ＜主な機能＞ ・大きくて使いやすいタッチパネル式4.3インチカラーディスプレイ。 ・RS-485、Ethernet、USBを標準装備。 ・日本語、英語に対応。 ・ISO21501-4およびJIS B 9921に準拠。...

    • 圧倒的な小型化と軽量化を実現！
    付属ソフトでポータブルにモニタリングが可能！


    特 徴
    ● 0.1 μｍ計測
    ● 4.3インチカラー液晶
    ● RS-485、Ethernet、USBを標準装備

    主な用途
    ●高清浄度エリアの管理

  • 液中ナノパーティクルカウンター ScanningTPC3 Model 9010-03
    洗浄用の超純水（UPW）やIPAなどの薬液のパーティクル及びパーティクルプリカーサーのモニタリング ...

    • ● 特許取得済みの独自ネブライザーと凝縮粒子カウンター（CPC）の高い技術力
    ● 光散乱式の検出限界以下の粒径を測定可能
    ● 測定粒径は3、9、15nmのチャンネル設定が可能
    ● 残渣（粒子前駆物質）、ネイティブ粒子の両方を測定可能
    ● 超純水および希釈溶剤（IPA、H₂O₂、アンモニア、HCLなど）が測定可能
    ● SEMIガイドラインに推奨測定方法として記述されている認定測定器
    ● 測定場所を選ばない、手軽に持ち運びができる小型サイズ
    ● 堅牢な作りで、最小限のメンテナンスで使用可能

  • 液中ナノパーティクルサイザーシステム　Model 9310
    6～562nmまでの広範囲な液中の粒径分布測定を実現 （CMPスラリーやフィルターテスト） ...

    • ● 完全統合システムにより最大の応答性と精度を実現
    ● 相対的ではなく、直接的に実濃度を測定
    ● 高分解能の粒径分布測定および広範囲の粒度分布測定の選択が可能
    ● サンプルの粘度、温度、粒子形状、粒子の表面特性などの影響を受けない測定
    ● サンプル粒子を個々に分級し計数
    ● 最小限のサンプル調整で、高速測定（5分以内）
    ● サンプルの導電性の調整が不要
    ● 溶存残留物がサンプルに干渉する可能性がある粒径30nm未満のコロイド粒子の測定に理想的
    ● 長期間の安定稼動が可能
    ● 粒子間の相互作用の影響を受けない
    ● 複雑なデータ変換処理やデータ分析は不要
  • 高分解能飛行時間型質量分析装置　infiTOF-DUO
    同一飛行空間を複数回周回させることで、長い飛行距離を得るマルチターン技術を利用し、小型ながら高感度・高質量分解能を達成した飛行時間型質量分析計...

    • ●高分解能マルチターン飛行時間型質量分析装置
    ● 小型・軽量・省電力で場所を選ばない
    ● シンプルな装置構成
    ● デスクトップPCサイズの中にイオン源、質量分析部、真空ポンプなど全てがオールインワン
    ● 独自のマルチターンTOF質量分析により高分解能30,000を達成
    ● 低質量域においても他の追従を許さない高分解能で分析可能

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