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レーザー光と光学を応用した新しい検査/解析技術の他、装置や設備に組み込み可能な測定、計測技術を紹介致します。
PiFM方式の採用により、従来のAFM-IRの欠点を克服した最も先進的な以下の装置を出展いたします。 Exhibitor's TechSPOTでは本製品の詳細・応用例をご紹介いたします。
その他、以下の製品も併せて紹介致します。
12インチ(300 mm × 300 mm)サンプルに対応 — ウエハや大きめサンプルをそのまま測定可能。
Photo‑induced Force Microscopy (PiFM)/PiF‑IR によるペアの赤外分光+AFMイメージングで、化学的成分ごとの「化学マップ」と「スペクトル」を自動で生成。
自動アライメント機能つき — 励起レーザーの調整をコンピュータ画面で自動化し、操作の習熟や手間を省き、結果の再現性を確保。
コンパクトな設置面積 — レーザーを本体下に収める設計により、広大なスペースを必要とせず、狭い実験室やクリーンルームにも導入しやすい。
温度・騒音管理された筐体で冷却/防音対応 — アクセスドア設計と遮音・断熱構造により、熱ドリフトを抑えつつクリーン環境下での測定を実現。
白色干渉計+エリア共焦点(コンフォーカル)技術による3D表面形状/粗さの非接触測定が可能 — 3Dレーザー顕微鏡に匹敵する分解能と精度、再現性を確保。
ヘッド内に演算処理を含むすべての電子機器を内蔵 — 接続は「イーサネットケーブル+電源」のみで、装置組込みが非常に簡単。
幅90 mm の狭幅コンパクト設計 — 設置スペースを抑え、製造ラインや既存設備にも導入しやすい。
自動 3D 測定機能付き — 焦点合わせ後はワンクリックまたは外部指令で自動測定、照明・焦点・Zレンジを最適化して安定出力。
複数の測定方式(共焦点、白色干渉、Ai焦点移動)を1台に統合した“3‑in‑1”構成 — 様々な材料・表面状態に柔軟に対応。
非常に狭い線幅(≤ 500 kHz)と高スペクトル純度 — 単一周波数 CW 出力で、高分解能・高再現性の測定や加工に適応。
超低ノイズ(出力ノイズ ≤ 0.3 % RMS)かつ高出力安定性(8時間で出力変動 < 2%) — ノイズやドリフトを抑えて、信号対雑音比(S/N)が重要なアプリケーションに最適。J
高品質ビーム (TEM₀₀、M² < 1.2) とコヒーレンス長 > 100 m — 回折限界ビーム品質により、光学顕微鏡、干渉計、リソグラフィーなど高精度光学用途で安定した性能を発揮。 Japan Laser+2Skylark Lasers+2
コンパクトかつ堅牢なモノリシック設計 — 密閉シールドパッケージにより、振動や衝撃に強く、フィールド用途や装置組込みにも対応可能。
広い用途への対応力 — ラマン分光、蛍光/フォトルミネセンス、干渉リソグラフィー、半導体ウェハ検査、量子技術応用など、研究開発から量産支援まで多岐にわたる用途に適合。
従来のAFMの半額以下の価格帯ながら、高分解能でのイメージング品質を実現。
表面形状(トポグラフィ)のほか、位相像、摩擦力(LFM)、磁気力(MFM)、電気力(EFM) など多様な走査モードに対応(モードはオプション含む)。
XY 分解能 0.2 nm、Z 分解能 0.05 nm の高精度走査により、ナノスケールの凹凸・微細パターン観察が可能。
ばね吊り下げ式の振動低減設計により低ノイズを実現。安定した走査によって信頼性の高いデータ取得が可能。
サンプルへのオートアプローチ機能と モジュール設計 によるプローブ交換・メンテナンスの容易さ。初心者でも扱いやすく、運用コストを抑えやすい。
≦ 100 nm 分解能 — ミクロスフィア増幅レンズ(SMAL)を用いることで、通常の光学顕微鏡の回折限界を超えたナノスケールの観察が可能。
非破壊・フルカラ—光学式観察 — 白色光顕微鏡と同様の操作感覚で、前処理不要・サンプルを傷つけずに繰り返し観察可能。
広範囲スキャン & 画像スティッチ — 高精度ステージとソフトウェアにより、広エリアの観察と高解像度画像のタイル連結が可能。大面積ウェハや材料表面の総覧に有効。
多様な対物レンズに対応 — 通常の対物レンズ(10×, 40×, 100×)から超解像 SMAL レンズまで、用途や観察目的に応じて柔軟に選択可能。
簡便な設置/運用性 — 標準的な光学テーブル上で使用可能で、クリーンルーム・真空・特殊環境は不要。既存設備への導入も容易。