吉岡精工

ポーラスチャックの多くはダイシングソーをはじめ各種半導体製造装置や検査装置に組み込まれます​
シリコンウェハはもちろん、近年ではフィルムやフレキシブル基板(FPC)、紙などありとあらゆる薄物ワークの吸着固定を実現します

ポーラス(多孔質体)とは
一般的には、スポンジのように連続した細かい孔が無数に空いている材料のことを言います​。
当社のポーラスはアルミナやステンレス等の細かい粉体を通気性を持たせつつ焼き固めたものであり​用途に応じた粗さ(気孔径)で製作が可能です。

吉岡精工のポーラスチャックは
お客様の用途、吸着ワークに応じて一品からのオーダーメイド製作を基本としております。
お気軽にご相談ください

「薄いワークを加熱したいけど、固定をしないと反ってしまい、 正確な測定や加工ができない……」といったお悩みを解決 します。

ポーラスチャックにヒーターを内蔵することにより、最大250℃までの加熱機能 を追加したポーラスチャックなので、吸着と加熱を同時に可能です。

プレート状の部品の積層構造となっており、加熱時の 熱変形を最小限に抑える工夫を施しています。

「吸着固定＋発光」により多層ウェハの内部 パターン検査や、検査ワークのエッジ検査の精度向上など に 貢 献します。

点発光でなく全面発光となるため、明暗のばらつきを最小限 に抑えます。

ウェハのエッジを検査する用途で、外周部のみ 発光するエリア分け等のカスタム対応も可能です。 角型形状での製作や発光色の変更（白、赤、青）も対応可能 です。