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山善

大阪市,  大阪府 
Japan
https://www.yamazen.co.jp/
  • 小間番号W3203


山善は各方面から半導体業界の発展をサポートします。コストパフォーマンスの高い製品を展示しています、是非ご覧ください。

初のセミコンジャパン出展ですが、光学顕微鏡をはじめ、電子顕微鏡、FIB-SEM、Fab向けAGVを実機・模型及びパネルの形で展示しています。

①サブミクロンサイズのサンプルを観測可能な光学顕微鏡、実機を展示します。その場でお試しできますので、お見逃しなく。

②海外製FIB-SEMの実寸模型を展示し、低コストでハイパフォーマンスを実現した製品で、SEM/FIB-SEM業界の新常識を作ります。

③FAB内のワーク運搬へのトータルソリューション、ウェハカセット/フープの持ち運びはおませください。実機実演を是非ご覧ください。


 プレスリリース

  • (株)山善は工作機械を中心とする生産設備販売で培ってきたものづくり技術とネットワークを活かし、半導体業界にも貢献してまいります。


 出展製品

  • 超微細デジタル光学顕微鏡
    超微小径(1μm)やウェハチップのパターン等をSEMを使用せずに観察することが可能となります。 ...

  • 特殊な光学系を用いて、光学顕微鏡でありながら、サブミクロンサイズの観察を実現しました。

    SEMを使わずに、10,000倍以上の倍率で拡大し、半導体、バイオなど、さまざまの現場で活躍できます。

    レーザーマーキング装置と組み合わせることで、従来にない高精度な位置特定が可能になります。

    豊富なオプションで、あらゆるニーズを応える一台です。

  • オープンカセット 搬送ロボット
    OWC は、半導体工場向けに特別設計されたオープンカセット自動搬送ロボットです。Open CST 向けに効率的・精密かつ柔軟な搬送ソリューションを提供し、生産工程の複雑な搬送ルートを容易に制御。 ...

  • 全方向移動により、狭い空間でも大きな旋回なしでスムーズに多方向移動が可能。 混雑したステーションや複雑なルートに最適。 

    コンパクトでスリムなボディ設計により通過性能を高め、半導体工場の狭い通路 や装置の隙間でもシームレスに走行可能。 

    多重安全保護が厳格な半導体製造基準に準拠し、人員と設備の長期的な安全を確保。

    YOUIFleet 分散型スマートスケジューリングシステムにより管理、複数ロボット の協調や大規模スケジュールを可能とし、 よりスマートな物流を実現。 

    スイングアーム式サスペンションシス テムにより、段差や凹凸を最小限の振 動でスムーズに通過し、ESD要件に適合。

    先進的なバッテリーマネジメントにより、自動充電と迅速なバッテリー交換 をサポートし、24時間365日の連続稼 働を実現。 

    高精度で安定したグリッピングユニットが Open CST に対応し、迅速かつスムーズな移載を実現。

    レーザーSLAMベースのナビゲーションにより±10mmの繰り返し停止精度を実現し、設備への効率的な移載を確保。 

  • デュアルビーム電子顕微鏡 (FIB-SEM)
    低電圧で高分解能を実現したFIB-SEM。コストパフォーマンスが秀逸。...

  • 低加速電圧で高分解能

    正確な位置決め

    人間工学に基づいたインターフェイス

    カスタマイズ、費用対効果革命