半導体製造や精密加工の現場では、微細化が進むにつれ、静電気や気泡による欠陥が歩留まりに大きな影響を与えます。
・eFLOW®シリーズは、超純水の比抵抗値を安定的に制御し、静電気破壊やゴミ再付着を防止することで、洗浄工程の品質を飛躍的に向上させます。独自の膜技術を活用し、CO₂供給による精密な抵抗値調整が可能で、カスタマイズにも対応。半導体洗浄工程における静電気トラブルをゼロに近づけ、安定した生産を支えます。
・SEPAREL®シリーズは、PTFE膜を採用した高性能脱気モジュールです。酸・アルカリ・有機溶剤など幅広い液体から気泡を効率的に除去し、微細欠陥の発生を防止。これにより、塗布工程の均一性を確保し、次世代ナノファブリケーションに不可欠な高精度加工を実現します。全接液部がフッ素樹脂製で耐薬品性に優れ、半導体やLCD製造プロセスに最適です。
両製品は、歩留まり向上と品質安定化を追求する現場において、欠かせないソリューションです