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当社は設計から機械加工、組立調整まで、
一貫した生産形態を有するモノづくり企業です。
皆様の研究や開発のサポートする製品を各種ご用意しております。
ぜひ新規的なアイディアを形にするお手伝いをさせて下さい。
お困りごとは“SUNYOU”へ！
特徴
FIB不要で層間露出が可能
顕微鏡一体型で、その場で調整・確認が可能
幅広い試料サイズに対応
高度な再現性と高精度加工を実現
三友開発の研磨パッドを使用
下流域に効果的にラジカルを供給するマイクロプラズマを使用
小型・低出力電源で安定したプラズマを発生
最大出力50W未満のRF電源使用により面倒な設置申請が不要
多彩なアプリケーションが可能な汎用エッチャー
多重プロセスが実行可能
下部ステージのXYスキャンで、ノズルプラズマの揺らぎをキャンセルし、画内均一エッチングが可能
出展製品