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VERMES Microdispensing

川口, 
Japan
  • 小間番号W3551


微細化が加速する半導体工程に向けた 最新ディスペンシングソリューション をご紹介いたします。

【見どころ】VERMES社日本代理店のアルファエレクトロニクスがお届けする微細化が加速する半導体工程に向けた最新ディスペンシング&検査ソリューション

半導体パッケージやアドバンストパッケージングでは、液滴の体積・着弾精度・広がりの再現性が、製品品質と歩留まりを大きく左右します。微細化・高集積化が進む現在、従来の接触式塗布やマスク工程では、塗布精度・速度・生産効率の限界が顕在化してきました。本展示では、こうした課題に真正面から応える 最新の非接触ディスペンシング技術 と リアルタイム可視化/モニタリング技術 をご紹介します。吐出後の液滴を「見える化」し、塗布品質を一段上げるための具体的なソリューションを、実機展示を交えて体験いただけます。 サブミクロン精度の極微細印刷技術。導電・絶縁・機能性材料に対応し、微細配線・ドット形成など先端アプリケーションに最適です。


 出展製品

  • バーミス マイクロジェット・ディスペンシング・システム
    世界トップクラスのシェアを持つ VERMES のマイクロディスペンサを展示します。 0.4nl クラスの微小液滴から、高粘度 2,000,000 mPas の材料まで幅広く対応。最大 2,000Hz の高速吐出により、パッケージ基板、センサー、光学部品への微細塗布を非接触で高精度に実現します。 凹凸や段差のあるワークにも追従しやすく、マスクレス工程による工数削減・治具レス化に大きく貢献。 「極小でも、確実に。」 を体感できるデモをご用意しています。...

  • 非接触・高精度・高速で、半導体の微細塗布に対応。 液滴最少 0.4 nl、吐出能力最大 2,000,000 mPas、1秒間に最大 2000回吐出、低〜高粘度まで対応、複雑形状や凹凸への塗布も可能、メンテナンス簡易、というハイスペック。
  • XTPL 超精密塗布システム
    【XTPL 超精密ディスペンシング】 ─ サブミクロン領域へ。“微細配線・微小ドット形成”の最前線 マイクロエレクトロニクスや先端パッケージングに向けた、サブミクロン精度の超精密印刷技術を紹介します。 10〜1,000,000 cP の広範な材料に対応し、導電性インク、絶縁材、機能性材料など多様なアプリケーションで活用可能。均一なライン形成や微小ドット形成に優れ、微細配線・バンプ形成・TSV充填 など、先端工程の高度化ニーズに応えます。...

  • サブミクロン領域のライン/ドット形成が可能。導電性インクや絶縁材など多材料に対応し、次世代デバイスの微細加工ニーズに対応します。
  • MOL リアルタイム液滴モニタリングシステム
    【MOL マイクロ光学検査システム/ナノストローブX】 ─ 液滴の“その瞬間”を捉えるリアルタイム可視化 塗布後の液滴は、これまで高価なハイスピードカメラでしか追えませんでした。 今回展示するナノストローブXは、ノズル先端にコンパクトに取り付けられ、一滴ごとの形状・容量をリアルタイムで捉えます。材料開発、条件出し、設備立ち上げ、量産検査まで幅広い工程に活用でき、 「見える化による歩留まり改善」 を具体的にサポートします。...

  • 液滴の形状・速度・容量・サテライトをリアルタイムで捉える可視化システム。材料開発や条件出し、量産の安定化に役立つ“見える化”を実現します。