サーモフィッシャーサイエンティフィックは、科学の力で半導体産業の発展を支えるグローバルリーダーです。当社ブースでは、フィルター製品事業部、クロマトグラフィー＆マススペクトロメトリー事業部（CMD）、およびケミカルアナリシス事業部（CAD）の3事業部が、それぞれの分野で提供する最先端のソリューションを紹介します。
フィルター製品事業部（FSD)
2025年9月より 旧 3M / ソルベンタムのフィルター事業を継承し、現在はサーモフィッシャーサイエンティフィックの一員として新たな体制で事業を展開しています。
半導体製造プロセスにおける高純度薬液管理や微粒子除去のニーズに応えるため、長年の実績をもつ分離膜モジュールおよび液体用フィルターを展示します。
特に注目は、新たに開発された金属イオン除去フィルター（新製品）。デバイスの微細化に貢献します。
また、高流量・高耐薬品性を両立した分離膜モジュールも展示し、化学薬液精製・再利用など、半導体製造における効率化と持続可能性を支える技術を紹介します。
クロマトグラフィー＆マススペクトロメトリー事業本部（CMD）
半導体プロセス薬品・材料の不純物管理を支える化学分析ソリューションを紹介します。
イオン性不純物の分析では、コンパクトで高機能なThermo Scientific™ Dionex™ Inuvion™システムにより、水溶液や有機溶剤中のフッ化物や硫酸イオンなどを高精度に定量できます。
金属および非金属元素の極微量分析では、Thermo Scientific™ ELEMENT™シリーズ高分解能ICP-MSおよびグロー放電質量分析計（GD-MS）が有用で、定量分析のほかに深さ方向分析にも対応します。
有機不純物の検出では、Thermo Scientific™ ISQ™ 7610／TSQ™ 9610 GC-MSシステムにより、クリーンルーム空気中の有機汚染物（AMC）を高感度に特定できます。
有機添加剤の品質管理では、Thermo Scientific™ Vanquish™ HPLCシステムと荷電化粒子検出器（CAD）による定量分析が有効で、メッキ液中の添加剤濃度の経時変化を捉えて工程品質を安定化できます。
これらの幅広い分析ソリューションにより、超純水や高純度酸・アルカリ・溶剤、フォトレジスト、メッキ液、クリーンルーム空気など、幅広いマトリックス中の不純物を包括的に評価できます。
ケミカルアナリシス事業部（CAD）
CADでは、ガス分析・環境モニタリング分野の最新ソリューションを紹介します。
今回展示いたしますMAX-iRは、半導体製造プロセスから排出される温室効果ガス（GHG）の分解効率を高精度かつ短時間で測定できる、FTIRガスアナライザーです。
ASC-10™ 自動サンプルコンソールとの組み合わせにより、従来は複数のFTIRや質量分析計が必要だった複雑な測定を、1台でシンプルに実現します。液体窒素を使わず広い赤外波数範囲をカバーできるため、
設置や運用も容易です。短時間（約1〜1.5時間）で複数のフッ素化ガスを同時に測定でき、除害装置の性能評価や温室効果ガス排出の監査作業を大幅に効率化します。
また、MAX-iRは除害効率の測定だけでなく、エッチング工程内のプロセスガスやプラズマ反応中の副生成物の解析にも活用でき、プロセス理解の深化や環境負荷低減に貢献します。
分析をより簡単に、より確実に行えるこのシステムは、環境規制への対応を求められる半導体メーカーの皆さまにとって、信頼性の高い新しいソリューションとなります。ぜひ会場で、MAX-iRがもたらす次世代のガス分析のかたちをご覧ください。
見どころ
分離・分析・環境管理という異なる技術領域を横断し、半導体製造プロセスの上流から下流までを包括的に支援するのがサーモフィッシャーサイエンティフィックの強みです。
新体制となったフィルター製品事業部を中心に、各事業部が持つ最先端技術と統合ソリューションをご体感ください。
出展製品