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イワキ

千代田区,  東京都 
Japan
https://www.iwakipumps.jp/
  • 小間番号S2404


多品種少量生産体制で、ケミカルポンプ開発の歴史を築いてきました。 流体制御機器のトップブランド、それがイワキです。

半導体製造装置市場における最先端・大量生産(300mmウエハ)向けと、既存装置(200mm以下ウエハ)によるそれぞれの用途に対応可能なポイプラインナップを展示します。
独自開発による超高効率リニアドライブを実現した新製品「リニアポンプLR」を展示します。優れた定量性と送液精度をぜひご覧ください。


 出展製品

  • エアー駆動低脈動ベローズポンプ FLPシリーズ
    ダンパー不要で低脈動を実現し、トータルコストの削減に貢献...

  • 低脈動

    独特の駆動メカニズムがポンプ脈動を打ち消す最適な位相にベローズの動きを制御。脈動が極めて少ない運転を実現します。

    ダンパー不要で省スペース化を実現

    ダンパーを設置する必要がなく、装置の小型化・システムのシンプル化に貢献します。配管作業も容易で、フッ素樹脂継ぎ手などの高価な配管材の削減が可能です。

    エアー消費量を削減

    従来型と比較してエアー消費量を最大30%(当社従来比)削減しました。供給エアー圧力を下げても従来型と同等の性能が得られます。

    優れた負荷追従性

    位相制御を行うことで負荷変動時の追従性が向上しました。特に枚葉プロセスなどの圧力変動が頻繁に発生するラインで、その高い 負荷追従性により吐出量・吐出圧の安定した運転が実現します。

    FLP-60W概略仕様

    最大吐出量 50L/min(供給エアー圧力0.2MPa・清水25℃)
    使用液温度 5〜100℃ 101〜150℃ 151〜180℃
    最大供給エアー圧力 0.5MPa 0.4MPa 0.3MPa
    最大エアー消費量 464NL/min
    最大ストローク数 160spm
    主要材質 PTFE、PFA
    最大移送液粘度 50mPa·s
    接続配管口径 ⌀25mm×⌀22mm(PFAチューブ)

    注:最大吐出量は供給エアー圧0.2MPa・清水25℃の場合によります。

    FLP-75W概略仕様

    最大吐出量 92L/min(供給エアー圧力0.3MPa・清水25℃)
    使用液温度 5〜100℃ 101〜150℃ 151〜180℃
    最大供給エアー圧力 0.5MPa 0.4MPa 0.3MPa
    最大エアー消費量 647NL/min
    最大ストローク数 150spm
    主要材質 PTFE、PFA
    最大移送液粘度 50mPa·s
    吸込み側
    接続配管口径
    ⌀31.8mm×⌀28.0mm(PFA)
    スーパー300タイプ 1-1/4″ユニオンナット、スリーブ付
    吐出側
    接続配管口径
    ⌀25.4mm×⌀22.2mm(PFA)
    スーパー300タイプ 1″ユニオンナット、スリーブ付

    注:最大吐出量は供給エアー圧0.3MPa・清水25℃の場合によります。

  • エアー駆動ダイヤフラムポンプ TCシリーズ(フッ素樹脂タイプ)
    半導体プロセス専用設計洗浄液循環・CMPスラリー液移送・高純度薬液供給ポンプ...

  • TCシリーズ(フッ素樹脂タイプ)の特長

    半導体専用設計

    TCT型は、半導体用に設計されたフッ素樹脂製のエアー駆動ダイヤフラムポンプです。エアー駆動方式のメリットと多彩な機種構成により、洗浄装置の循環用やCMPスラリー液の移送用、さらには高純度薬液の供給用まで幅広くご使用いただけます。

    エアー消費を大幅削減

    エアー室の構造変更により、従来機種に比べエアー消費を大幅に削減しました。高吐出圧力運転時において、エアー消費を最大50%削減できます。

    • 最大吐出量付近のデータ比較となり、機種、移送する液体、配管により異なります。

    高圧吐出・圧力制御が容易

    Max. 0.7MPa(一部0.85MPa)の高圧吐出が可能です。また吐出圧力は供給エアー圧力に比例するため、エアーレギュレータの調整で容易に制御することができます。

    防爆対策は不要

    圧縮エアーで駆動するため、特別な防爆対策は不要です。またオーバーロードによる発熱もないため、防爆エリアでも使用可能です。心臓部のエアー切換方式は、新開発のループドCスプールと新メカニカル方式の採用により、作動性能が向上しました。

    • 機種によりエアー切換方式は異なります。

    概略仕様

    最大吐出量範囲 11〜150L/min
    最高吐出圧力範囲 0.5〜0.7MPa
    最大エアー消費量範囲 170〜1500NL/min(ANR)
    供給エアー圧力範囲 0.2〜0.7MPa
    主要材質 PTFE(ダイヤフラム、ボールバルブ、バルブシート)
    液温範囲 0〜80℃(機種により異なります。)
    粘性液 2500mPa·s(詳細はお問合せください。)
    スラリー液 詳細はお問合せください。
    シール方式 シールレス

  • Chemical replenishing pumps CFD
    Max. discharge capacity: 8 mL/shot Excellent performance for strong acid and alkali replenishment in semiconductor manufacturing...

  • Features of CFD

    Ideal for Wafer Cleaning Solution Concentration Control

    Accurately dispenses the minimum required amount of chemical. Ideal for controlling the concentration of wafer cleaning solution. The pump prevents the concentration overshooting and contributes to cost reduction of the solution.

    Superior Chemical Resistance

    All wet end parts are made of fluoroplastic (PTFE, PFA, PCTFE) and are compatible with chemicals such as strong acid, strong alkali and hydrogen peroxide. The outer parts of the pump are made of plastic with coated bolts.

    Safety Design

    The pump is a pneumatic drive bellows pump safely powered by compressed air. The siphon prevention mechanism prevents the outflow of chemical. CFD-1T-B is equipped as standard with a leak sensor that detects bellows damage.

    Wide Discharge Capacity Range

    The discharge capacity can be flexibly adjusted for a wide range. Factory default setting is as follows; CFD-1T-B: 1 mL/shot, CFD-8T-B: 8 mL/shot.

    Specifications

    Model CFD-1T-B CFD-8T-B
    Max. discharge capacity 1 mL/shot*1 8 mL/shot*2
    Max. discharge pressure 0.05 MPa
    Max. stroke speed 30 spm
    Main materials PTFE, PFA, PCTFE
    Liquid temperature range 20 – 60°C

    *1 Factory default setting. The discharge capacity can be changed within 0.4 to 2.7 mL/shot.
    *2 Factory default setting. The discharge capacity can be changed from 7 to 10 mL/shot.

  • リニアポンプ LRシリーズ
    流量範囲:0.01〜100mL/min 独自開発による超高効率リニアドライブを実現 優れた定量性と送液精度で幅広い用途に対応...

  • 独自開発の超高効率リニアドライブ
    優れた送液精度を実現

    広い流量範囲・高圧吐出

    制御比は驚異の10000:1。2種類のバルブモジュール(PAT.)を選択することで、0.01mL(10µL)の微少流量から100mLまでの広い流量範囲を実現しました。また、圧力変動・可変時の流量変動に強く最高1.0MPaまでの高圧吐出が可能です。

    • 選定したバルブモジュールによってCV値仕様範囲が異なります。詳しくはお問合わせください。

    無脈動

    駆動部を独立制御しています。2つのポンプ部の交互運転により、従来のプランジャーポンプでは不可能だった無脈動注入を実現しました。

    • 図は交互運転のイメージです。

    粘度液にも対応

    粘度液を移送可能です。

    • 詳しい粘度仕様はお問合わせください。

    食品衛生法(ポジティブリスト)適合

    接液する部品は全て、食品衛生法(ポジティブリスト)に適合しています。

    外部制御により作業性向上(RS-485通信)

    フィードバック制御

    上位側で、流量計等の信号を取得することでフィードバック制御が可能です。
    目標値を自由に設定できるため、正確に目標流量に達するよう制御できます。

    • 画像はサンプルプログラムによるものです。詳しくはお問合わせください。

    便利なデータログ機能

    データログ機能により、動作時間やエラーログを出力できるため、システムの設計やメンテナンス、トラブルシューティングに役立ちます。

    • 画像はサンプルプログラムによるものです。詳しくはお問合わせください。

    革新的な構造

    イワキ独自の駆動ユニット「リニアアクチュエータ(PAT.)」により、優れた送液精度と無脈動注入を実現しました。

    高度なセンシング制御技術

    リニアアクチュエータとセンシング制御技術により、精密な動きが可能です。

    静音設計

    稼働部の接触がありません。 騒音の原因となる運転音を回避しました。(騒音値 40dB以下)

    • 運転条件、送液環境により異なります。 詳しくはお問合わせください。

    豊富な運転モード

    MANUAL運転(マニュアル運転)

    手動操作で流量を設定でき、運転中、停止中どちらでも流量を変更できます。

    BATCH運転(バッチ運転)

    設定した時間周期で、設定した液量を注入できます。1台のLRで柔軟に運転条件を設定できるため、多品種少量生産や1ロットごとの品質管理に最適です。

    用途例:ワクチンの分注など

    CONT運転(コンテニュアス運転)

    2つのリニアアクチュエータの動きをずらし、動きの一部を重ねて往復動することで、一定の流量で脈動を抑えた運転を行います。

    用途例:無脈動による連続送液

    MAX運転(マックス運転)

    キーを押している間、上限吐出量で運転を行います。フラッシング(循環を使った洗浄)を行う際に大変便利です。

    AIR運転(エアー運転)

    最大流量以上の流量で、配管内のエアー抜きを行います。

    通信モード(COMモード)

    ポンプを通信で操作できます。システム監視やデータログも可能です。(LR-TR型のみ)

    標準モード(STDモード)

    ポンプを直接操作するモードです。

    「使いやすさ」の追求、高いユーザビリティを実現

    コンパクト

    コンパクト設計により、現場でも簡単に持ち運びができます。1台でチーム全体をまかなうことも可能です。各現場において省スペース化を実現します。

    人間工学に基づいた設計

    LRシリーズは人間工学に基づいて設計されています。ユーザビリティを考慮し、効率的で快適な操作が可能です。

    • 視認性の高いモニター
      自然な視線で疲労軽減につながるモニター角度。
    • 操作しやすいパネル
      人間工学に基づいた操作パネルは操作時の負担を軽減。

    機能性を集約したタテ型モデル

    ポンプ部を上部に、操作パネルを前面に集約。高い機能性と省スペース化を両立します。

    上向きポンプヘッド

    配管作業やバルブ交換が行いやすい上向きポンプヘッドを採用。(PAT.)配管接続やバルブ交換が行いやすく、送液後の洗浄なども非常に簡単です。

    吸込み口の位置を変更可能

    ポンプヘッドの左右の向きを変更できます。どちらに向けてもネジ穴位置が同じですので、ご使用のレイアウトにあわせて、向きを決めることが可能です。

    初心者でも簡単メンテナンス

    LRシリーズは、従来のプランジャー式ポンプに比べてメンテナンス性が向上しました。メンテナンス作業は、座ったままでも簡単に行えます。分解・組立て時に面倒な調整が必要なく、シールやガスケット部品の交換頻度も少ない設計です。

    医薬・研究・食品・環境分析など幅広い用途に対応

    優れた定量性と送液精度により、様々な場面で活躍します。

    • 各種フロー精密合成・ファインケミカル研究用途
    • ハンドキャリー実現による共用も可能
    • 医薬品・原材料の研究・開発・実験用途
    • 各種基礎研究・ラボ用途
    • 長時間の連続測定

    概略仕様(50/60Hz)

    型式 LR-TR1SRRSF1J
    (外部入力機能搭載)
    LR-TR1SRSSF1J
    (外部入力機能搭載)
    LR-T1SRSSF1J LR-T1SRRSF1J
    流量範囲 0.01〜100mL/min 0.01〜100mL/min
    最大吐出圧力 1.0MPa 1.0MPa
    接続口径 R1/8 R1/8
    バルブ材質 SUS316・SUS316L ルビー・サファイア SUS316・SUS316L ルビー・サファイア
    RS-485通信
    定格電流値 2.5A 2.5A
    電源電圧 AC100〜240V 50/60Hz 単相 AC100〜240V 50/60Hz 単相
    質量 2.7kg 2.7kg

    • 仕様は定格電圧、常温、純水(脱気後)時の性能です。
    • 液温範囲:0〜60℃(凍結なきこと)
    • 周囲温度:0〜45℃
    • 耐環境性:IP64相当
    • 騒音値:40dB以下 運転条件、送液環境により異なります。詳しくはお問合わせください。
    • LR-T型、LR-TR型のバルブ材質・接続径はカスタマイズも可能です。詳しくはお問合わせください。
    • ポンプ部やホース内にエアーが溜まっていると十分な精度が出せません。初めてポンプを運転するときや、保守・点検の後には必ずエアー抜きを行ってください。
    注:選定したバルブモジュールによってCV値仕様範囲が異なります。詳しくはお問合わせください。

    コントローラ仕様

    型式 LR-TR(外部入力機能搭載) LR-T
    運転モード 運転モード選択 マニュアル運転(手動運転)、バッチ運転(パルス信号運転)
    ポンプ仕様選択
    • 最高吐出圧力1.0MPa 最大流量30mL/min
    • 最高吐出圧力0.6MPa 最大流量60mL/min
    • 最高吐出圧力0.4MPa 最大流量80mL/min
    • 最高吐出圧力0.3MPa 最大流量100mL/min
    ストローク種類選択 静音運転、脈動運転、連続流運転
    MAX運転 各ポンプ仕様の最大設定流量で運転
    AIR運転 配管内のエアー抜きに最適な制御方法で運転
    機能 CAL(測定入力での校正) 設定流量と実流量の誤差を補正
    MNT(メンテナンス運転) リニアアクチュエータを「上死点」、「下死点」に移動させ、ダイヤフラムの交換を補助
    TUNE(チューニング運転) 駆動部の調整を行い正確に運転
    入力機能 STOP入力 レベルセンサ信号などを検出しポンプ運転を停止
    入力仕様 オープンコレクタ(NPN)、出力電圧:DC12V、出力電流:DC10mA
    パルス入力 バッチ運転のパルス信号を入力
    入力仕様 オープンコレクタ(NPN)、出力電圧:DC12V、出力電流:DC10mA
    出力機能 エラー出力 本体でエラーが発生または保護機能が有効となった場合に電圧信号を出力
    入力仕様 オープンコレクタ(NPN)、DC25V 10mA
    バッチ完了出力 バッチ運転完了後に信号を出力
    入力仕様 オープンコレクタ(NPN)、DC25V 10mA
    出力端子設定 なし、エラー出力、バッチ完了出力(出力する信号をそれぞれ選択可能)
    通信機能 同期方式 調歩同期式
    信号線 RS-485(2線式半二重)
    通信速度 19200bps/38400bps
    データビット 8bit
    パリティビット なし
    スタートビット Lo
    ストップビット 1bit
    データ転送 LSBファースト
    通信プロトコル Modbus注1(RTUモード)
    接続規格 5ピンDINオス型コネクタ注2
    表示 LED 5桁 運転状態、設定値など

    注1:Modbusプロトコルは、Modicon Inc. がPLC用に開発した通信プロトコルです。産業界におけるデファクトスタンダードの通信規格です。
    注2:別途、通信ケーブル(5ピンDINコネクタ メス型ケーブル)をご用意ください。詳しくはお問合わせください。

  • マグレブポンプ MJ-100
    インペラを磁気浮上 クリーンな送液を実現...

    • 磁気軸受け構造とマグネット駆動方式を組み合わせた、独自の構造を持った渦巻きポンプです。(PAT.PEND.)
    • ポンプの長寿命化や部品同士の摺動によるパーティクル発生の防止などのメリットが期待できます。

    MJ-100の特長

    長寿命

    ポンプ室には、接触により消耗する部品がありません。通常の運転では消耗部品はなく、ポンプの寿命を大幅に伸ばします。

    ノンパーティクル

    ポンプ室での部品接触がないため、パーティクル発生のリスクを減らすことができます。クリーンな送液が可能です。

    シールレス構造

    マグネット駆動方式によるシールレス構造のため、液漏れがありません。軸シールの交換が不要です。

    優れたユーザービリティ

    MJ-100シリーズにはオペレーションUNIT MJCが標準付属します。専用のPCアプリによってPCと接続し、運転/停止などの操作や状態確認、ファームウェアのアップデートを簡単に行うことが可能です。

    作動原理

    インペラを磁気で浮上

    磁気軸受けUNITの4つのコイルに電流を流すことにより、強力な磁力を発生させます。これによりインペラ内のマグネットが磁力を受け、インペラが完全に浮上します。コイルの間には距離センサが設けられ、ポンプ運転中は常にインペラ位置を適正に保ちます。

    ベアリングレス構造

    ベアリングなどのポンプ室で接触する部品はありません。ポンプの長寿命化や部品同士の摺動によるパーティクル発生の防止など、メリットが期待できます。

    標準付属品

    オペレーションUNIT MJC

    PCアプリによって操作や動作確認が簡単に行えます。
    • 接点入力によりREADY/RUN/STOP動作が可能。
    • ポンプ回転数、運転/停止履歴、積算運転時間などの取得が可能。
    • 送液不良などの異常を検出し、アラームを発出。
    • Modbus通信により、詳細なポンプ情報の取得や運転状態の監視が可能。

    オペレーションUNIT MJC中継ケーブルM(3m)単相100V用、MCリレーケーブル(0.3m)三相200V用、中継ケーブルF(3m)、電源コード(1.8m)

    PCアプリ

    自社開発PCアプリ「IWAKI Maglev Pump Maintenance App」により、ポンプの運転状態、エラー情報、ソフトのバージョンなどを確認することが可能です。

    • PCアプリ「IWAKI Maglev Pump Maintenance App」は機能向上や改善のため、アップデートを行うことが可能です。

    ポンプ概略仕様(50/60Hz)

    最大吐出量 92/108L/min
    最高揚程 6.0/8.5m
    主要材質 GFRPP
    定格出力 260/260W
    消費電力 245/365W
    電源 AC単相100V、三相200V
    液温範囲 0〜85℃(液質により異なります)
    比重限界 1.2
    シール方式 シールレス
    O リング材質 FKM(標準)、EPDM(特注)

    オペレーションUNIT概略仕様

    運転機能 マニュアル(手動運転) 操作キーによるポンプ運転/停止
    接点入力運転 外部入力の浮上、回転によりポンプ運転/停止
    Modbus通信運転 RS-485 による Modbus 通信のコマンドによりポンプ運転/停止
    専用アプリ運転 専用アプリによりポンプを運転/停止
    表示 LED 電源 赤色:電源供給で点灯
    浮上(READY) 橙色:インペラ浮上で点灯
    浮上回転(RUN) 緑色:ポンプ運転で点灯
    操作 2キー 浮上(READY)キー、浮上回転(RUN)キー
    動作 浮上(READY) インペラの浮上
    浮上回転(RUN) インペラの浮上および回転でポンプの運転/停止
    入力 2点 浮上指令 無電圧接点もしくはオープンコレクタ入力
    入力 OFF OPEN(遮断電流 100μA以下)
    使用方法 60ms以上のパルス信号が必要。
    回転指令
    出力 5点接点出力 オープンコレクタ出力 DC24V/10mA
    通信 USB(PCアプリ) USB1.1/2.0
    Mini USB type-B コネクタ:PC アプリによる状態モニター(浮上状態、回転数、トータル運転時間)
    RS-485 2線式半二重 19,200 kbps(Modbus 通信で使用)
    記憶機能 不揮発性メモリによる記憶
    消費電力 MJC-R1 394W(モータ駆動電力を含む)
    MJC-R3 32W
    電源電圧 AC100~240V 50/60Hz