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半導体製造プロセス・ユーティリティ用の各種流量計測機器をご紹介致します。
弊社ブースでは、最先端の半導体製造プロセスに対応した高性能流量計からユーティリティ用流量計まで、幅広い用途に対応した各種流量計測・制御機器をご紹介します。
既設のチューブを挟むだけで流量計層が可能なため、配管の施工が不要です。
配管内はクリーンに保たれます。
半導体製造装置等のクリーン度を要求されるプロセスに最適です。
超純水・純水・水の流量管理に加え、半導体製造プロセスの薬液にも対応します。
150L/minまでの流量測定が可能。
溶着レスで液溜まりのない構造
接液部はすべて半導体産業向けPFAで構成され、可動部がなく液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。
半導体製造装置等の高いクリーン度を要求されるプロセスに最適な流量計です。
変換器SFC011SBは1台で6ラインの同時計測が可能です。