レーザーテック

【用 途】 

・ ウェハファブにおけるEUVマスクの受入検査       

・ ウェハファブにおけるEUVマスクの定期的な品質確認検査                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                   

【特 長】                                                                   

・ ACTIS A150の3倍の検査速度を達成             

・ ウェハファブにてEUVマスク運用中に発生する転写性欠陥を検出

【用 途】 

・ EUVマスクブランクスやサブストレート上の微小欠陥の検査

・ 検査と同時のインスタント欠陥レビューおよび高倍率欠陥レビュー

・ 微小欠陥のサイジング

・ 高精度な欠陥座標の出力

【特 長】                                                                   

・ 次世代半導体向け高品質EUVマスクブランクス欠陥検査に有効な高検出感度と、量産工場での出荷・受入検査に適した高スループットを両立     

・業界標準機MAGICSの基幹技術をベースとし、検査光学系を刷新するとともにマスクパターン検査装置で培った高速検査回路技術を採用　

・サブストレートや最先端半導体用マスクブランクス各層の欠陥検出感度を飛躍的に向上させ、高品質なブランクスの選別が可能

・EUVマスク製造時の欠陥ミチゲーションに必要な高精度な欠陥座標を出力

・M9751はライン&スペースのモニターパターン検査に対応し、マスクショップでの各種プロセス管理に有効