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堀場製作所

京都市南区吉祥院宮の東町,  京都府 
Japan
http://www.horiba.com/jp/semiconductor/
  • 小間番号S1403

分析×制御でつくる、持続可能な未来

HORIBAは、持続可能な社会の実現に向けた、先端材料・半導体分野への革新的なソリューションを提案しています。半導体製造プロセスにおける制御とモニタリングを中心として、先端材料の研究開発の最先端ソリューションの提供から、排ガスや廃液監視などのファシリティの管理に至るまで、多彩なアプリケーションでお客様のオペレーションをサポートします。 


 出展製品

  • レーザー回折・動的画像式 粒子径・形状解析装置 Partica
    レーザー回折/散乱式粒子径分布測定と動的画像式粒子形状解析の一体化(フラッグシップモデル)...

  • 同一箇所の粒子径分布と粒子形状を一台で同時に得ることができます。粒子径分布測定と画像による形状解析を実施することにより、測定時間を大幅に削減でき、研究開発や品質管理の効率化と省スペース化に貢献します。また、液中の粒子だけでなく、粉末やペースト状などさまざまな状態の試料でも画像解析が可能です。
  • レティクル/マスク異物検査装置 PD10-EX
    異物検出・除去を1台で完結、半導体製造プロセスの効率化・歩留まり向上を徹底追求...

  • レティクル/マスク異物検査装置PD10-EXは、1984年に誕生したPDシリーズの最新機種です。
    40年の歴史に磨かれたレーザー散乱方式検査技術と長期安定性&信頼性を継承しながら大きく進化しています。
    半導体製造プロセスに欠かせないフォトマスク生産工程でのブランクマスク検査、完成品レティクル/マスクの出荷前検査、半導体工場での受け入れ検査、露光工程でのルーチン検査など多くの半導体製造シーンで活躍しています。先端EUVプロセスでのペリクル検査、マスク欠陥検査装置を補完するパターン面検査、高速ガラス/ペリクル面検査など多様な機能を持つ半導体検査装置です。

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