Loading...

堀場エステック

京都市南区上鳥羽鉾立町,  京都府 
Japan
https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/
  • 小間番号S1403

分析×制御でつくる、持続可能な未来

HORIBAは、持続可能な社会の実現に向けた、先端材料・半導体分野への革新的なソリューションを提案しています。半導体製造プロセスにおける制御とモニタリングを中心として、先端材料の研究開発の最先端ソリューションの提供から、排ガスや廃液監視などのファシリティの管理に至るまで、多彩なアプリケーションでお客様のオペレーションをサポートします。


 出展製品

  • レーザーガス分析計 LG-100 Series
    高感度かつ高速なリアルタイム測定を実現したレーザーガス分析計です。...

  • 半導体製造のエッチングプロセスで発生する排ガス成分SiF4をリアルタイムに測定し、微量なSiF4の変化からエンドポイントの検出が可能です。
  • 全自動フォトルミネッセンスマッピングシステム PLATO Series
    フォトルミネッセンス法を用いた非破壊・非接触の全自動PLウェハマッピングシステムです。...

  • 豊富なレーザー波長や300mmのウェハサイズにも対応し、ウェハのPLマッピング・結晶欠陥・膜厚・反りといった様々な情報を入手可能です。
  • 超薄型マスフローモジュール DZ-100 Series
    差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフローモジュールです。...

  • 10mmの超薄型ながらクラス最大水準の20SLM(N2換算流量)の大流量化を実現。使用温度上限を60℃に拡大し、成膜・エッチングなど多様な半導体プロセスに対応しています。
  • 液体材料気化システム MV-2000 Series
    半導体プロセスに用いられる液体材料を気化(ガス化)する気化器です。...

  • 半導体プロセスで使用されるHigh-k材料などの液体材料の安定した気化供給に最適なモデルです。