日本電子

・電子光学系として「Neo Engine（ネオエンジン）」という次世代電子光学制御システムを搭載。
・操作性・解析効率を向上させる自動観察・分析機能「Neo Action」および自動校正機能「SEM自動調整パッケージ」を搭載。
・“Live-3D”機能：多分割半導体型BSE（後方散乱電子）検出器を用し、リアルタイムに試料表面形状（凹凸・深さ情報）を3D再構築しながら観察可能。
・EDS（エネルギー分散型X線分析装置）とSEM観察の統合操作が可能。点、面、MAP、線などの分析を観察画面から直接予約して実行可。
・レンズ／対物系に“ハイブリッドレンズ〈HL〉”、“スーパー・ハイブリッドレンズ〈SHL〉”、あるいはセミインレンズ〈SIL〉が選択可能なラインアップ。用途（高分解能観察、磁性材料、絶縁材料など）に応じた設計。

・ショットキー型電界放出（FE：Field Emission）電子銃を搭載。高分解能観察と大電流運転の両立を実現。

・自動機能を強化：ビーム軸合わせ、フォーカス、非点収差補正などが自動で行えることで、操作者の負担を軽減

・新しい検出器系の採用：

　・多分割（4方向）後方散乱電子検出器（Backscattered Electron Detector）による “Live 3D”機能：観察中にリアルタイムで凹凸・深さ情報を伴った3D像構築が可能。

　・低真空ハイブリッド二次電子検出器（LHSED）: 低真空時でも凹凸像・発光情報（カソードルミネセンス）など豊富な信号を取得。

・ナビゲーション／観察効率向上機能：

　・“Zeromag”機能：光学像からSEM像へシームレスに移行、視野探しを効率化。

　・自動化ワークフロー “Simple SEM/EDS”：予め条件を登録すれば、SEM像取得・EDS分析を自動化可能。

　・大面積光学像取得によるステージナビゲーション（LSシステム）: 従来比約5倍の視野エリア取得を実現し、広範囲探索が容易。

・低真空運転・絶縁試料対応：低真空モードでの観察・分析が可能なので、導電コーティングなしでも観察できるケースがあります。