SM-31は、2つの感震器を搭載することで地震検知の確実性と計測信頼性を高めた地震監視装置です。設定した地震レベルに応じて上位制御システムへ確実に地震検知信号を出力し、製造装置の自動停止や保護動作をサポートします。さらに、通信の二重化や多様なインターフェースに対応し、地震検知信号を安定して伝達することで、上位システムの適切な制御判断を支援します。
こうした特長により、中小地震で発生しやすい装置損傷やウエハー脱落などのリスク低減に寄与し、半導体工場の生産安定性向上や災害時の安全確保に貢献します。
安心・安全な環境づくりを補助する地震監視装置です。