Loading...

フェローテック

中央区,  東京都 
Japan
  • 小間番号E5908


当社の高性能部材は世界中のエレクトロニクス産業や自動車産業、医療機器などの幅広い分野で貢献する製品に生かされています。

今回のブースでは、半導体製造に欠かせない「石英」「セラミックス」「シリコンパーツ」「CVD-SiC」といったマテリアル製品のほか、磁性流体を応用したグローバルトップシェアの「真空シール」、精密な温度管理が可能で、自動車、家電、通信、医療など幅広い分野で採用されている「サーモモジュール」や「チラー」を展示しております。また、グループ会社からは、「サーミスタ」(大泉製作所)、「LPE溶液法SiC炉」(上海漢虹精密機械有限公司)、パワー半導体基板(フェローテック・パワーセミコンダクター)の他、「真空装置等受託製造」「精密部品再生洗浄」などのサービス事業についてもご紹介いたします。

ぜひお気軽にお立ち寄りくださいませ!

場所:東5908(韓国パビリオン隣)


 出展製品

  • 半導体業界における製品・サービス
    フェローテックの技術と製品は半導体製造工程で欠かせない存在となっています。...

  • 技術革新に伴うこれからの半導体需要に対して、当社グループの半導体関連事業は部材製造から加工・洗浄まで数多くの製品・サービスを展開しています。
  • 石英製品
    熱と化学変化に強い超高純度ガラス...

  • 高熱処理や化学処理が頻繁に行われる半導体製造工程で活躍するのが、超高純度のシリカガラスからなる石英製品です。ウエーハの薄膜生成や拡散プロセス、その他搬送、洗浄工程で治具や消耗品として利用される当社の石英製品は、細線化や高純度化が進む半導体プロセスにおいて重要な役割を担っています。

    • 使用製品例:液晶テレビ、スマートフォン、パソコン、フラッシュメモリ、CPU、LED
  • セラミックス
    高強度・高純度な材質、優れた加工技術と機械加工性で最先端技術を支えるセラミックス...

  • さまざまな分野の製品開発・生産において求められる優れた特性と高度な機能を発揮します。高純度・高剛性・高精度を要求される半導体製造(ウェーハ製造・処理・組立・検査)の各プロセスに使用される部品や液晶製造用部品をはじめ、一般産業機械分野で使用される耐摩耗・耐熱・耐薬品用部材にも最適です。

    また、マシナブルセラミックス「ホトベール」は機械加工が容易に行えるセラミックスであり、ダイヤモンド工具はもちろん、一般の超硬工具によるさまざまな精密加工が可能です。半導体・液晶製造用部品や検査治具は、少量多品種にわたり、また設計から試作までのリードタイムの短縮が要求されるなか、マシナブルセラミックスは精密加工・短納期、更に熱特性、光学特性、電気特性にも優れた特長を生かし、これらの分野に幅広く使用されてきております。

    • 使用製品例:液晶テレビ、スマートフォン、パソコン、フラッシュメモリ、CPU、LED、外科用内視鏡
  • シリコンパーツ
    高純度ポリシリコン・プロセスで活躍するシリコン素材の治具...

  • 高純度ポリシリコン製治具を初めて可能にしたSiFusionTM プロダクトはウエーハの成膜や拡散プロセスにおいて革新的なソリューションを提供します。反応ガスの拡散プロセスにおける使用時間の延長と稼働率向上、洗浄回数の削減などを実現し、お客様のトータルコスト削減に貢献しています。

    • 使用製品例:液晶テレビ、スマートフォン、パソコン、フラッシュメモリ、CPU、LED
  • CVD-SiC
    超高純度・高耐熱性・高耐摩耗性を実現した独自のCVD法製作による炭化ケイ素製品...

  • SiCはシリコン(Si)と炭素(C)が1対1で結合した化合物で、耐摩耗性、耐熱性、耐腐食性等に優れています。半導体製造工程で用いられるウエーハボートやチューブ、シリコンウエーハの代替となるダミーウエーハなど、主に高温で使用される治具として広く活用されています。

    • 使用製品例:液晶テレビ、スマートフォン、パソコン、フラッシュメモリ、CPU、LED