日本高周波

横浜市緑区中山, 神奈川県
Japan
https://www.nikoha.co.jp

小間番号S2504

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出展製品

半導体製造装置に使用する2450MHzマイクロ波発振装置を展示します。日本高周波ブースへのご来訪をお待ちしております。

日本高周波株式会社は、長年培ったマイクロ波技術により半導体産業を支えてまいります。

＜展示品＞
　マイクロ波自動整合器　<3E TUNER>
　ソリッドステート型マイクロ波発振装置
　マグネトロン型マイクロ波発振装置
　ハザードモニタ(マイクロ波漏洩検知器)

展示品以外にもお客様のご使用装置に合わせたカスタム対応も可能です。
当社説明員までご相談ください。

出展製品

2450MHz マイクロ波自動整合器<3E TUNER>

半導体製造装置や熱処理装置のマイクロ波伝送に使用する自動整合器です。プラズマチャンバやターゲットの負荷変動に対して高速でインピーダンスマッチングを行い、反射波を低減させ装置の効率向上に貢献します。 5kW入力まで冷却の必要がなくご使用頂けます。マイクロ波発振装置、アイソレータ、方向性結合器、導波管とセットでご使用ください... More Info Less Info

・5kWまで冷却の必要がなく使用可能
・2400MHz～2500MHzの広帯域で使用可能
・小型化(全長L=200mm)、軽量化(4kg)を実現
・部品見直しにより長寿命化
・当社独自のアルゴリズムにより高速動作が可能
・VSWR10(全位相)までの広範囲で整合可能
・低出力にも応答可能
・制御ユニットを内蔵
・PCやCONTROLLER(別売り)による操作も可能
・PC専用ソフトを付属
・パルス動作、アナログ電圧による各種設定、各種通信仕様にも対応

2450MHz ソリッドステート型マイクロ波発振装置

半導体製造装置のプラズマ発生源、熱処理装置の加熱源に使用する、半導体式のマイクロ波発振装置です。発振周波数と出力電力が安定しているため、装置の安定性と信頼性に貢献いたします。アイソレータ、方向性結合器、自動整合器、導波管とセットでご使用ください。 ... More Info Less Info

・小型、軽量化を実現【アンプユニットはマグネトロン発振器と同等サイズ】
・マグネトロンに比べ発振周波数、発振波形、出力電力が安定
・マグネトロンでは難しい低出力が可能
・パルス発振は内部に機能を搭載、また外部からの信号入力からでも対応可能
・発振周波数を可変して細かな制御が可能
・位相制御、アナログ電圧により各種設定、各種通信機能はオプションで対応