パーティクル対策の新提案
静電吸着式 パーティクルコレクター
「パーティクル」とは、塵・ホコリ・ダストなどの異物の総称です。製品の外観品質や性能、寿命等さまざまな面で悪影響を与えるため、ものづくりの現場では天敵とみなされています。
半導体分野においては、パソコンやタブレット、スマートホンといった電子機器の小型化・高機能化にともない、半導体デバイスもより小さく高品質なものが要求される時代になりました。当然、デバイスの性能を決める回路も微細化が進むため、従来では問題視されていなかった「数nm（ナノメートル）」レベルのパーティクルも近年では大きな問題になっています。
また、半導体分野に限らず多くのものづくりの現場では、ファクトリーオートメーションが加速する中、「不良率の低減」や「生産効率の改善」がテーマに掲げられています。
私たちクリエイティブテクノロジーが提案する「静電吸着式パーティクルコレクター」は、半導体分野で長年培ってきた「静電チャック」の技術を応用しパーティクル対策に特化させた、空間内のパーティクルを捕捉するツールです。
パーティクル対策の新スタンダードとして、業界を問わず多くの企業で導入が進められています。
導入事例
真空プロセス装置内のパーティクル対策
クリーンな真空装置でも、真空引きや大気開放等の圧力変動時には、パーティクルが巻き上げられます。パーティクルコレクターを使用することで製品への再付着が予防され、不良率の低減が期待できます。
クリーン環境でもさらにパーティクル対策
クリーンルーム内の製品組み立て作業でも、作業をおこなうことによる発塵は回避できません。パーティクルコレクターを使用することでクリーンな作業環境の維持が期待できます。
オプションツールでパーティクル対策
大気環境下、真空環境下のいずれの場合もパーティクルコレクター導入に際し、装置側の大掛かりな改造は原則不要です。