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コメットテクノロジーズ・ジャパン

横浜市神奈川区新浦島町,  神奈川県 
Japan
https://comet.tech/
  • 小間番号W1969


Comet welcomes you to Semicon Japan 2025!

Cometは、75年以上にわたる高周波とX線技術の分野における最先端のコンポーネントとシステムの開発における専門知識を生かし、世界をリードするテクノロジー企業です。当社のソリューションは、半導体製造の全領域にわたってイノベーションを促進する上で極めて重要な役割を果たしています:

- フロントエンドでは、個々のコンポーネント(真空コンデンサ、マッチボックス、ジェネレータ)から完全に統合されたRF電力供給システムまで、当社の専門知識は多岐にわたっており、多層次世代メモリや原子スケールのプラズマプロセスの複雑さを管理するための前例のない電力制御を可能にしています。

- 後工程では、当社のX線源とシステムは、ますます小型化・複雑化するデバイスがもたらす課題に取り組むために設計された、高解像度・高倍率のX線検査を提供します。シングルダイから従来のパッケージ、ウェハー、高度なパッケージングデバイスまでにわたります。

世界中に1500人以上の専門家チームを擁するCometは、世界規模で半導体イノベーションを確実に後押ししています。

Led by experience. Driven by curiosity.


 出展製品

  • Synertia® RF電源供給プラットフォーム
    Synertia® はプラズマ条件を業界最高クラスのスピードで強力に制御するRFパワーシステムです。Synertia® プラットフォームは、幅広い周波数帯および出力レベルに対応するRFジェネレーターとRFマッチングネットワークで構成されています。...


  • Synertia® は次世代マルチレイヤ―メモリや原子スケールのプラズマプロセスといった複雑な工程を最適に制御することを可能にします。特許取得済の独自コントロール技術により、ジェネレーターとマッチングネットワークが 業界最高クラスのスピードで相互に連携 します。この高度なインテリジェント制御により、これまで不可能とされていた複雑なプラズマアプリケーションの実現が可能になります。

    RFパワージェネレーター Synertia® RFG


    ユーザーは Synertia® RFジェネレーターが備える独自の性能加速機能を自在にコントロールできます

    • マルチレベルパルシング:調整可能かつ柔軟に設定可能で、プラズマを精密かつ再現性高く制御
    • 長期安定性能:数百万ステップに及ぶプロセスでも一貫したパフォーマンスを維持
    • 高度な可視化機能:重要な計測・制御パラメータを可視化しプロセス最適化を加速、デバッグやトラブルシューティング、分析を効率化する多彩なスマートデータセットも利用可能


    Synertia® の 高速かつ柔軟なプロセス制御 は、優れた再現性、迅速なチューニング、そしてカスタム波形制御を実現し、 歩留まり向上 へと繋がります。

  • X線CT検査装置【CA20】
    【CA20】は最高解像度で優れた2Dおよび3D画像を提供するよう設計されています。ミクロンサイズの微細構造を最速で検査でき、構造的欠陥を迅速に特定します。また、複雑な3D ICの市場投入までの時間短縮にも貢献します。...

  • 【CA20】は高解像度3D X線機能と、AIによるはんだバンプ自動欠陥検出(ADR)を組み合わせることで、従来よりも迅速に体系的な課題を検出できます。

    完全自動化ソリューションとして利用可能で、ファブの材料・情報フローにシームレスに統合され、 製品品質の保証と歩留まりの最大化 のための実用的なリアルタイム計測データを提供します。


    ハイライト

    • 半導体業界向け設計
    • 完全自動化により、ファブへのシームレスな統合が可能
    •  AIベースのデータ解析と高度なソフトウェア により、体系的な問題を迅速かつ正確に特定し、歩留まりを最大化
    • 非破壊で、 数分ではんだバンプの3D情報を取得 
    • 信頼性の高い正確な技術により、安定した検査ルーチンをサポート
    •  X線感受性部品保護のための Dose Manager 搭載
  • X線CT検査装置【FF35 CT】
    新開発ナノフォーカスX線管を搭載し、微細領域の再現性能がさらに向上...

  • 【FF35 CT Semi】は、160 kV ナノフォーカスと225 kV マイクロフォーカスの2管構成により、 超高分解能から厚物試料まで幅広い対象を1台でカバー します。

    新型ナノフォーカス管の性能向上により、従来よりも各段にクリアな画像を実現。微細部の内部構造をこれまでにない鮮明さで捉えることができます。さらに独自の「ズームスキャン」により、非破壊解析を顕微鏡レベルの領域へと拡張。「スピードモード」で撮影時間を最大50%短縮、「レイヤースキャン」では大型モジュール品の斜めCT撮影を実現します。
  • X線管【Xplorer Cube】
    Xplorer Cubeは、12 µmの焦点サイズ(5 µm JIMA)で8 W出力および11 mm未満の短いFOD(焦点物体距離)を実現し、数マイクロメートルの微細構造を高倍率で可視化できるX線検査を提供します。これにより、高精度な解析とより優れた品質管理を実現します。...

  • 均一な強度分布

    均一な強度分布高い対称性を持つ焦点スポットにより、アーチファクトの少ない高品質な3D・CT画像を安定して取得できます。これにより検査精度と信頼性が向上し、欠陥の特定が容易になり、製品の品質保証に貢献します。


    高出力性能(High power output)

    130 kVで業界最高クラスの65 W出力を実現し、PCBA・バッテリー・電子部品の自動インライン2D/3D検査に最適です両軸115°の広角ビームと組み合わせることで、生産ラインの効率化とスループット最大化を可能にします。堅牢な性能により多様なアプリケーションをサポートし、包括的かつコスト効率の高い検査ソリューションを提供します。


    コンパクトで信頼性の高い設計

    小型化された一体型X線モジュールにより、省スペース化検査品質の向上を両立
    この洗練された設計生産ラインへの容易な統合を可能にし、長期安定動作メンテナンスフリー設計により、稼働率と運用効率を最大化します


    ダイナミックフォーカシング(Dynamic focusing)

    アプリケーションごとに解像度と出力を最適化でき、変化する市場に柔軟に対応できる操作性を提供します。


    イーサネット接続(Ethernet connection)

    付属のGUIまたはホストコントローラによる外部制御で柔軟に操作可能。
    Industry 4.0に対応した最新のEthernet接続を搭載し、将来的な拡張性高度な診断機能によるシステム監視を実現します。

  • X線管【FXE 190】
    FXEシリーズは、解像度 600 nm から数ミリメートルまで対応しており、小さな欠陥も正確かつ迅速に検出することができます。 FXE のアクティブフォーカシング光学系は、任意の kV および出力設定に応じて最適な焦点スポットサイズに自動調整されるため、実験室環境でも生産環境でも、あらゆる種類の材料を高精度にイメージングすることが可能です。 ...

  • 揺るぎない安定性

    内部冷却機構により、190 kV ナノフォーカス X線管FXE 190では焦点スポットのドルフとが最小限に抑えられ、これにより起動から安定稼働までの時間が大幅に短縮されます。さらに、高度のビーム安定化技術 TXI(True X-ray Intensity)と組み合わせることで、常に一定のコントラストを維持し、ちらつきのない画像取得が可能です。


    優れた解像度

    FXE 190は 30 W の高出力透過型ターゲットを搭載しており、 高い解像度を持つX線源 として高倍率での迅速な画像取得を実現します。高解像度ターゲットにより、 JIMA規格で 0.45 µm の分解能を達成しています。


    より鮮明な画像

    当社の Clear 技術 により、散乱電子による余分な焦点外放射を低減し、 信頼性の高い画像 と より鮮明な3D再構築 を提供します。


    無制限の寿命

    モジュラー設計により重要部品の迅速な交換が可能で、 FXEの総所有コストは同クラスでも最低水準 です。使用限界を心配する必要はなく、摩耗部品は常に交換可能です。X線管自体は、統合されるシステムの想定寿命をはるかに超えて長期間使用できるよう設計されています。