ナプソン

測定パターンプログラマブル、円型・角型測定対応マッピングソフトウェア

セルフテスト機能、広範囲測定レンジ
厚さ･ 周辺位置・温度補正機能（シリコン用）
シート抵抗・メタル膜厚表示機能

測定仕様
測定対象
半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど）
導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
拡散サンプル シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
その他（※お問い合わせください）
対象のサイズ
～8インチ、または～156ｘ156mm

測定レンジ
［抵抗率（比抵抗）］1m～300kΩ･cm
［シート抵抗］ 5m～10MΩ/sq

製品サイズ
W330×D600×H340mm
約36kg

Details
Applications
Semiconductor materilas, Solar-cell materials (Silicon, Polysilicon, SiC etc)
New materials, functional materials (Carbon nanotube, DLC, graphene, Ag nanowire etc)
Conductive thin film (Metal, ITO etc)
Diffused sample (or layer)
Silicon-related epitaxial materials, Ion-implantation sample
Others (*Please contact us for details)
Sample sizes
~ 8 inch, ~156x156mm

Measuring range
[R] 1m~300k Ω・cm
[RS] 5m~10M Ω/sq

Size
W330×D600×H340 mm
Approx. 36 kg

複数タイプの非接触プローブによる広範囲レンジ対応の抵抗測定器
（搭載するプローブ数およびプローブタイプはご要望により変更可能）

エッジ8mmからの多点測定可能
非接触の渦電流方式のため、ダメージを与えず測定が可能
測定パターンプログラマブルかつ2-D／3-Dマッピングソフトウェア
*オプション：ウエハー厚さ測定プローブ 追加搭載

 

測定仕様
測定対象
半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど）
導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
化合物半導体関連（GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど）
その他（※お問い合わせください）
対象のサイズ
2～8インチ
（オプション；12インチ）

測定レンジ
［抵抗率］1m ～200Ω･cm
（*全プローブタイプの合計範囲／厚さ500umの場合）
［シート抵抗］10m～3kΩ/sq
（*全プローブタイプの合計範囲）

*プローブタイプごとの測定レンジは以下をご参照ください。
（1）Low：0.01～0.5Ω/□（0.001～0.05Ω·cm）
（2）Middle：0.5～10Ω/□（0.05～0.5Ω·cm）
（3）High：10～1,000Ω/□（0.5～60Ω·cm）
（4）S-High：1,000～3,000Ω/□（60～200Ω·cm）

製品サイズ
W780×D580×H375mm
約70kg