プロセス安定化のための高度な熱モニタリング
エピクルー社のデュアルパイロメーターシステムは、熱処理工程においてウェーハとドームの両方の温度を同時に測定します。リアルタイム補正アルゴリズムと統合ソフトウェアにより、より安定した電力供給、制御性の向上を実現します。
システムの機能
• ウェーハとドームの温度をリアルタイムで測定
• ドーム温度の変動に基づきウェーハ温度測定値を補正
• EPICREWソフトウェアでユーザー定義パラメータを用い動的に補正係数を算出
デュアルパイロメーター統合の利点
• マルチデポジション（マルチデポ）操作時の温度精度向上
• 初回と継続的なラン間の成長率変動の低減
• ドーム温度と実際のウェーハ状態の相関性向上
• 再現性と歩留まりを向上させるための熱調整と制御を可能に