主な特長
・清浄度グレード1に準拠：EUVリソグラフィーの厳しいクリーン性要件を満たす。
・低パーティクル・低アウトガス・低汚染素材：化学的に不活性で耐熱性のあるPTFE素材を使用。
・高い信号整合性：長距離でも高データレートを維持。
・柔軟な丸型ケーブル構造：狭いスペースでも容易に設置可能。
・精密で信頼性の高い端末処理：安定した接続を実現。
・メンテナンス・ダウンタイムの削減：装置の稼働率向上に貢献。
主な用途
・露光装置（Projection Optics Box や Illuminator など）
・高真空環境での光学アセンブリ
・半導体製造工程全般（洗浄、検査、パッケージング、SoCテストなど）
技術仕様と品質管理
ゴアは、製造から最終検査までのすべての工程で厳格な洗浄プロセスを採用しています。これにより、高クリーン・高精度・高信頼性を実現し、半導体製造の歩留まりや生産性の向上に貢献します。