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フィジックステクノロジー

市川市,  千葉県 
Japan
http://www.physix-tech.com
  • 小間番号E6322


最先端かつオンリーワンテクノロジーの製品をお客様へご満足頂けるよう、最適なご提案をお約束致します。

本展示会では、SmarAct社製品を出展致します。

SmarAct社では、小型ながら長ストローク移動可能なピエゾステージ、長時間可動可能で高速度、高性能なリニアモーターステージ、小型な光学式エンコーダーを製造しております。

また、これらのステージを組み合わせた、光集積回路のファイバーアライメントユニット及びマニピュレータを搭載したナノプロービングユニットも実機展示します。

SmarAct社ではステージ単体はもちろん、各ステージを組み合わせたユニットでのご提供も承っております。

是非、弊社ブースにてアプリケーションでのご相談お待ちしております。


 出展製品

  • マスクレス露光装置
    デスクトップ型、小スペースで設置可能なマスクレス露光装置...

    • DMDを活用したマスクレス露光装置で時間と費用を節約
    • 最小描画分解能1.5μmで描画範囲に応じて対物レンズを容易に交換可能
    • サンプルサイズ最大5‘’角ウエハーまで対応し、様々なサブストレートにも対応
    • デザインをサンプル面に照明することで直観的な位置決めが可能
  • ヘキサポッドステージSmarPod
    自由度が高く高精度なヘキサホッドステージSmarPod...

  • SmarPodは、ソフトウエアにより回転中心となるピボットポイントを自由に変更でき、XYZ軸と2軸チルト軸、回転軸を備えた汎用性の高い6軸ステージシステムです。円形のベースプレートの3箇所にステージが取り付けられた円形タイプと、3台のリニアステージの上に直交した3台のステージが取り付けられた平行タイプがあります。光ファイバーの結合やマイクロアセンブリングなど、様々なアプリケーションでご利用いただいております。

  • ヘキサポッドステージTripod
    シリアルキネマティックとパラレルキネマティックを組み合わせたコンパクトでモジュール式6軸ステージシステム...

  • SmarPodはθzの回転範囲に制限がありますが、TRIPOD360°リミットなく回転することができます。高精度な位置決めに加え電磁ドライブの採用により高速・長寿命な利用が可能です。

  • Stick-Slipピエゾステージ
    Stick-Slipドライブの採用で業界最小クラスピエゾステージ...

    • 1nmの高分解能とmm単位のマクロな移動を同時に実現
    • セルフクランピングとバックラッシュフリー
    • ピエゾドライブユニットが交換可能
    • 低い熱ドリフトと高い共振周波数
    • 高真空/超高真空/非磁性/極低温オプション対応
  • 光学式インクリメンタル型エンコーダ
    超小型な読取ヘッドで高分解能、高速にも対応可能な光学式エンコーダ...

    • 小型なので装置への組込みが容易
    • OEM製品としての提供やカスタマイズも可能
    • 低消費電力で超高真空にも対応
    • オプションとしてパラメータ設定が可能なソフトウエアも用意