豊中ホット研究所

主な特徴：

•  多様な配管形状やサイズに合わせて、柔軟に設計・製作が可能
•  二重絶縁構造ヒーター線＋高断熱材で安全性・省エネ性を両立
•  脱着可能なジャケット構造：施工・保守が容易
•  フッ素樹脂外装（PTFE/PFA）：パーティクル、シロキサンの発生を抑制
•  空焼き済み出荷対応：初期ガス発生を最小化

適用分野：

•  CVD装置のガス供給・排気ライン
•  エッチング装置の薬液・排気ライン
•  洗浄装置の温水・薬液ライン
•  除害装置・真空ポンプ周辺の温調ライン
•  Hot N₂供給ラインとの併用で凝縮・堆積防止にも貢献

導入効果：

• 温度ムラの排除による膜厚均一性向上
•  歩留まり向上・メンテナンス周期の延長
• 環境対応（PFAS管理・省エネ・漏洩防止）への貢献

主な特徴：

• 全構成材がPFAかPTFE単体もしくはコーティング：金属露出なし、腐食・溶出・パーティクル発生最小化
• 温度制御：薬液・ガスの反応性を安定化
• 柔軟性・巻きやすさに優れる：ホース・配管・チャンバー外装に対応
• 引張強度が格段に強い
• 面状発熱体に近い加熱効果で、温度分布が均等になる
• ヒーター線が太く、線ワット密度が低いため、長寿命
• 耐薬品性・耐熱性（〜200℃）：酸・アルカリ・有機溶媒にも対応

適用分野：

• CVD装置のガスライン加熱
• 洗浄装置の薬液供給ライン
• 分析装置の超純水ライン
• 環境対応型プロセスの温調配管

• サイズ：内径φ４～φ１００
• 最高設定温度：テフロンＰＦＡ…２３０℃ＭＡＸ １２ナイロン…ＭＡＸ５０℃ ＳＵＳフレキ管…ＭＡＸ４００℃
• 対応流体：酸、アルカリ、有機溶剤、その他
• 安全性：漏洩防止、保温断熱性、難燃素材採用
• 導入実績：半導体、医薬 食品、分析装置メーカー、その他
• カスタマイズ対応：接液部素材、口径、長さ、温度帯、接手形状などカスタム対応可能。

　　　※その他、ヒーターレスで温冷水循環ホースなども製作しております。

主な特徴：

• 高断熱構造：外気との熱交換を抑え、ドレン化を防止
• 柔軟性・耐屈曲性：狭小スペースや可動部にも対応
• 高耐熱・耐圧設計：〜200℃の飽和蒸気に対応
• カーボンニュートラル対応：省エネ設計・再利用可能な構造
• 安全性：外装温度の低減により作業者の火傷リスクを軽減

適用分野：

• 洗浄装置のスチーム供給ライン
• 加熱プレート・チャンバーの昇温ライン
• 薬液温調・機能水加熱ライン
• スチームピュリファイア・除菌装置の接続配管

導入効果：

• ドレン発生の抑制による洗浄効率の安定化
• 配管施工時間の短縮・保守性向上
• 熱ロス低減によるエネルギーコスト削減
• 環境対応（CO₂排出削減・再利用性）への貢献

主な特徴：

• ＦＭ認証の断熱材採用：高断熱・低熱伝導率・耐湿性
• 柔軟性・耐屈曲性：施工性・安全性に優れる
• 温度安定性：冷却水・温水・薬液・冷媒の温度変動を抑制
• 省エネ性：熱ロスを低減し、冷却・加熱効率を向上
• 環境対応：CFC非含有・低VOC・カーボンニュートラル設計

適用分野：

• 半導体製造装置の冷却水・温水ライン
• 薬液温調ライン（洗浄・現像・スラリー）
• データセンターの冷却系統（液冷・空冷）
• 冷媒ライン・チラー配管・熱交換器周辺

導入効果：

• 温度ムラの排除による装置安定稼働
• 冷却効率の向上による電力コスト削減
• 施工性・柔軟性による保守性向上
• 環境対応（CO₂排出削減・断熱材の安全性）への貢献